[实用新型]收放卷结构及真空镀膜机

说明书

本实用新型涉及一种收放卷结构，包括框架和箱体，框架和箱体均设置于真空室内。框架上可转动地安装有物料卷，箱体包括本体和盖板，盖板与本体密封连接形成常压腔室，本体靠近框架的端面上开设有第一安装孔。常压腔室内安装有卷绕驱动机构，卷绕驱动机构的动力输出端与第一安装孔密封装配且与物料卷转轴传动连接，能够实现可靠运行的同时不会破坏真空环境。

技术领域

本实用新型涉及镀膜装置技术领域，特别是涉及一种收放卷结构以及包含该收放卷结构的真空镀膜机。

背景技术

通常情况下，大部分电机只能够用于大气或常压状态。虽然有真空状态能够使用的电机，但是成本非常高。CVD和PVD现有技术方案的生产过程中，当前收放卷部分一般是将电机等驱动结构放到真空室外边，通过密封结构将动力传到真空腔体内。但是如果电机轴线设计上在工艺过程中有较大的偏移或位移，联轴器不能满足需要的时候，真空室外边的电机等驱动结构想要将动力传到真空腔体内就变得很艰难。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有收放卷结构，驱动结构不易将动力传到真空腔体内的问题，提供一种收放卷结构。

一方面，本实用新型提供了一种收放卷结构，包括框架和箱体，所述框架和所述箱体均设置于真空室内：

所述框架上可转动地安装有物料卷；

所述箱体包括本体和盖板，所述盖板与所述本体密封连接形成常压腔室，所述本体靠近所述框架的端面上开设有第一安装孔；

所述常压腔室内安装有卷绕驱动机构，所述卷绕驱动机构的动力输出端与所述第一安装孔密封装配且与物料卷转轴传动连接。

在其中一个实施例中，所述卷绕驱动机构包括卷绕电机和磁流体密封轴，所述卷绕电机的动力输出端与所述磁流体密封轴的动力输入端传动连接，所述磁流体密封轴的动力输出端与所述第一安装孔可转动密封装配且与所述物料卷转轴传动连接。

在其中一个实施例中，所述框架的底座滑设于所述真空室内的导轨上，所述本体靠近所述框架的端面上还开设有第二安装孔，所述常压腔室内还安装有纠偏驱动机构，所述纠偏驱动机构的输出端与所述第二安装孔可伸缩密封装配且与所述框架固定连接，所述纠偏驱动机构能够驱动所述框架在所述导轨上位移。

在其中一个实施例中，所述纠偏驱动机构包括纠偏电机和纠偏连接波纹管，所述纠偏电机安装于所述常压腔室内，所述纠偏连接波纹管与所述第二安装孔密封装配，所述纠偏连接波纹管的两端分别与所述纠偏电机的动力输出端和所述框架连接。

在其中一个实施例中，所述本体上开设有导线孔，出线波纹管的一端与所述导线孔密封安装且另一端导出到所述真空室外，线缆通过所述出线波纹管导出到真空室外。

在其中一个实施例中，所述常压腔室内分布有冷水通道，所述冷水通道通过水路接头通到真空室外。

在其中一个实施例中，所述框架还包括沿所述底座长度方向相对设置的支撑板，所述物料卷卷收于卷芯，所述卷芯的两端均固定连接所述转轴，所述转轴可转动地架设在所述支撑板上，所述转轴与所述磁流体密封轴的动力输出端传动连接。

在其中一个实施例中，所述支撑板远离所述底座的端面上开设有支撑槽，所述物料卷转轴上装有轴承，所述轴承的外圈与所述支撑槽通过轴承压盖固定连接。

在其中一个实施例中，所述底座与所述导轨之间设置有滑块，所述滑块与所述底座固定连接，所述滑块滑设于所述导轨。

在其中一个实施例中，所述盖板与所述本体之间采用用O型密封圈密封。

另一方面，本实用新型还提供了一种真空镀膜机，包括如上所述的收放卷结构。