[实用新型]加热装置以及镀膜设备有效
| 申请号： | 201821183744.1 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN209162179U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 孙明;王雪戈 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/54;C23C16/46;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王赛 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热装置 加热板 加热 本实用新型 镀膜设备 分区 测温组件 加热组件 可移动 衬底 监测 移动 | ||
1.一种加热装置，其特征在于，包括：
加热板(110)，具有多个相互独立的加热分区(140)；
加热组件(120)，设置于所述加热板(110)，用于对所述多个相互独立的加热分区(140)分别进行温度控制；以及
可移动测温组件(130)，能够相对于所述加热板(110)进行移动，用于监测所述加热板(110)不同位置的温度。
2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述可移动测温组件(130)包括：
多个温度传感器(132)，所述多个温度传感器(132)的探头(1322)沿第一方向X间隔排列；
移动机构(134)，与所述多个温度传感器(132)连接，用于带动所述多个温度传感器(132)沿第二方向Y移动。
3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述第一方向X垂直于所述第二方向Y。
4.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述多个加热分区(140)沿所述第一方向X和/或所述第二方向Y依次排列。
5.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述多个加热分区(140)包括中心加热分区(142)和多个边缘加热分区(144)，所述加热组件(120)包括：
第一加热元件(122)，同时设置于所述中心加热分区(142)和所述多个边缘加热分区(144)中，用于同时对所述中心加热分区(142)和所述多个边缘加热分区(144)进行加热；以及
多个第二加热元件(124)，分别设置于所述多个边缘加热分区(144)中，用于分别对所述多个边缘加热分区(144)进行独立加热。
6.根据权利要求5所述的加热装置，其特征在于，所述多个边缘加热分区(144)均匀地设置在所述中心加热分区(142)沿所述第二方向Y相对设置的两端。
7.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，每个所述边缘加热分区(144)均包括沿第一方向X依次排列的多个边缘加热子分区(1442)，每一所述边缘加热子分区(1442)中均设置有独立控制的所述第二加热元件(124)。
8.根据权利要求5～7任一项所述的加热装置，其特征在于，所述第一加热元件(122)为电阻加热丝，所述第二加热元件(124)为红外加热灯。
9.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至8任一项所述的加热装置。
10.根据权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，还包括镀膜载体(300)，所述加热装置的可移动测温组件(130)包括多个温度传感器(132)，所述多个温度传感器(132)的探头(1322)沿第一方向X间隔排列；
所述镀膜载体(300)能够相对于所述加热装置沿所述第一方向X移动。
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