[实用新型]加热装置以及镀膜设备

说明书

本实用新型涉及一种加热装置，包括加热板，具有多个相互独立的加热分区；加热组件，设置于所述加热板，用于对所述多个相互独立的加热分区分别进行温度控制；以及可移动测温组件，能够相对于所述加热板进行移动，用于监测所述加热板不同位置的温度。本实用新型还涉及一种包括所述加热装置的镀膜设备。所述加热装置能够对衬底进行均匀地加热。

技术领域

本实用新型涉及热处理技术领域，特别是涉及一种加热装置以及镀膜设备。

背景技术

在太阳能电池生产过程中，需要利用加热装置对衬底(例如不锈钢衬底)进行加热，以使电池材料可以更好的沉积在衬底表面。电池材料在衬底上沉积的均匀性能对太阳能电池的生产非常重要，但是由于结构等原因，加热装置的边缘相比于中心区域散热更快，导致四周边缘区域的温度要比中心区域低，从而导致衬底的中心区域与边缘部分所沉积的电池材料性能有较大差别。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能均匀加热衬底的加热装置以及镀膜设备。

一种加热装置，包括：

加热板，具有多个相互独立的加热分区；

加热组件，设置于所述加热板，用于对所述多个相互独立的加热分区分别进行温度控制；以及

可移动测温组件，能够相对于所述加热板进行移动，用于监测所述加热板不同位置的温度。

在其中一个实施例中，所述可移动测温组件包括：

多个温度传感器，所述多个温度传感器的探头沿第一方向X上间隔排列；以及

移动机构，与所述多个温度传感器连接，用于带动所述多个温度传感器沿第二方向Y移动。

在其中一个实施例中，所述第一方向X垂直于所述第二方向Y。

在其中一个实施例中，所述多个加热分区沿所述第一方向X和/或所述第二方向Y依次排列。

在其中一个实施例中，所述多个加热分区包括中心加热分区和多个边缘加热分区，所述加热组件包括：

第一加热元件，同时设置于所述中心加热分区和所述多个边缘加热分区中，用于同时对所述中心加热分区和所述多个边缘加热分区进行加热；以及

多个第二加热元件，分别设置于所述多个边缘加热分区中，用于分别对所述多个边缘加热分区进行独立加热。

在其中一个实施例中，所述多个边缘加热分区均匀地设置在所述中心加热分区沿所述第二方向Y相对设置的两端。

在其中一个实施例中，每个所述边缘加热分区均包括沿第一方向X依次排列的多个边缘加热子分区，每一所述边缘加热子分区中均设置有独立控制的所述第二加热元件。

在其中一个实施例中，所述第一加热元件为电阻加热丝，所述第二加热元件为红外加热灯。

一种镀膜设备，包括所述加热装置和衬底。

在其中一个实施例中，所述镀膜设备还包括镀膜载体，所述镀膜载体能够相对于所述加热装置沿所述第一方向X移动。

本实用新型提供的加热装置，通过在所述加热板上设置多个加热分区，并对所述多个加热分区进行独立地加热控制，能够使所述加热板各个位置的温度均一，从而可以对衬底进行均匀地加热；通过设置可移动的测温组件，测温组件可通过移动的方式实时监测所述加热板各个位置的温度，例如可以通过所述可移动测温组件获得所述加热板的温度场分布，从而可以更加精确地控制所述加热板各个位置的温度，使得所述加热装置能更为均匀地加热所述衬底。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供的加热装置的俯视结构示意图；