[实用新型]一种用于光电零部件的退火炉有效
申请号: | 201821189167.7 | 申请日: | 2018-07-25 |
公开(公告)号: | CN208655582U | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 范银波 | 申请(专利权)人: | 苏州珮凯科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/324 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高温炉体 保温隔板 低温炉 退火炉 炉体 零部件 天然气加热方式 设备技术领域 保温结构层 本实用新型 电加热方式 零部件加工 拆卸更换 电加热片 可拆卸式 能耗损失 热量损失 蓄热燃烧 插接块 排气管 再利用 一分为二 加热 生产成本 室内 分割 | ||
1.一种用于光电零部件的退火炉,其特征在于,包括炉体,所述炉体为正面开口结构且正面开口位置处设有密封门,所述炉体一分为二包括第一炉体和第二炉体,所述第一炉体和第二炉体中间设有保温隔板层,所述炉体内壁四周均设有保温结构层;
所述第一炉体底端连接有进气管,所述进气管和第一过滤器一端连接,所述第一过滤器另一端通过出气管连接,所述出气管和蓄热燃烧装置的出风端口连接,所述蓄热燃烧装置和鼓风机连接,所述第一炉体顶端连接有排气管,所述排气管上设有第二过滤器,所述排气管和蓄热燃烧装置的第二进气端口连接,所述蓄热燃烧装置上还设有第一进气端口且和天然气管连通;
所述第二炉体两侧内壁上均匀设有若干电加热片;
所述第一炉体顶端面设有第一温度传感器,所述第二炉体顶端面设有第二温度传感器。
2.根据权利要求1所述的一种用于光电零部件的退火炉,其特征在于,所述第一炉体为高温炉体,所述第二炉体为低温炉体。
3.根据权利要求1所述的一种用于光电零部件的退火炉,其特征在于,所述保温结构层包括上保温结构层、下保温结构层、侧保温结构层和内保温结构层,所述上保温结构层设置于所述炉体内顶板上,所述下保温结构层设置在炉体内底板上,所述侧保温结构层设置在所述炉体内侧板上,所述内保温结构层设置在所述炉体内面板上,所述内面板为与炉体正面开口相对的面板。
4.根据权利要求3所述的一种用于光电零部件的退火炉,其特征在于,所述侧保温结构层通过第一插接块可拆卸固定于炉体内侧板上。
5.根据权利要求4所述的一种用于光电零部件的退火炉,其特征在于,所述第一插接块横截面为L字型且所述第一插接块固定连接在炉体内侧板上下。
6.根据权利要求1所述的一种用于光电零部件的退火炉,其特征在于,所述保温隔板层为三层复合结构,包括中间的隔板和外层的保温层。
7.根据权利要求6所述的一种用于光电零部件的退火炉,其特征在于,所述保温隔板层通过设置于炉体内上保温结构层和下保温结构层上的第二插接块可拆卸式固定于第一炉体和第二炉体中间。
8.根据权利要求7所述的一种用于光电零部件的退火炉,其特征在于,所述第二插接块横截面呈凵字型。
9.根据权利要求8所述的一种用于光电零部件的退火炉,其特征在于,所述第二插接块和上保温结构层及下保温结构层之间为可拆卸连接。
10.根据权利要求1所述的一种用于光电零部件的退火炉,其特征在于,所述蓄热燃烧装置上还设有烟雾处理装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造