[实用新型]硅片自动供给装置有效
| 申请号： | 201821191391.X | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN208666479U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 李玉卓;沙娟 | 申请（专利权）人： | 扬州协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 225131 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 夹持机构 自动供给装置 定位机构 检测信息 驱动机构 周转箱 夹持 抓取 本实用新型 供给效率 硅片损伤 人工搬运 人工操作 人为因素 自动供给 作业安全 驱动 片夹 移入 受损 周转 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片自动供给装置，其特征在于，包括：
夹持机构，用于夹持硅片；
定位机构，用以检测硅片所在位置；
以及驱动机构，与所述夹持机构连接，用以接收所述定位机构的检测信息，并根据定位机构的检测信息驱动所述夹持机构运行。
2.根据权利要求1所述的硅片自动供给装置，其特征在于，所述定位机构包括用以检测硅片位置的工业相机。
3.根据权利要求1所述的硅片自动供给装置，其特征在于，所述定位机构包括用以检测硅片位置的红外传感器。
4.根据权利要求1所述的硅片自动供给装置，其特征在于，还包括力矩传感器；所述力矩传感器用以监测所述夹持机构的夹持力，并将监测信息传递给所述驱动机构。
5.根据权利要求1所述的硅片自动供给装置，其特征在于，所述夹持机构为夹爪。
6.根据权利要求5所述的硅片自动供给装置，其特征在于，所述夹爪为气动夹爪或电动夹爪。
7.根据权利要求5或6所述的硅片自动供给装置，其特征在于，所述夹持机构用以与硅片接触的位置设有软垫。
8.根据权利要求7所述的硅片自动供给装置，其特征在于，所述软垫为硅胶垫。
9.根据权利要求1所述的硅片自动供给装置，其特征在于，还包括用于检测夹持机构夹持的硅片的厚度的距离传感器。
10.根据权利要求1所述的硅片自动供给装置，其特征在于，所述驱动机构包括机械臂，所述夹持机构固定设于所述机械臂上。
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