[实用新型]电镀系统的气体搅拌装置有效
申请号: | 201821197695.7 | 申请日: | 2018-07-26 |
公开(公告)号: | CN208632687U | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 郑文锋;许吉昌;孙尚培;黄伯轩;吴博轩 | 申请(专利权)人: | 先丰通讯股份有限公司 |
主分类号: | C25D21/10 | 分类号: | C25D21/10;C25D17/00 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人: | 黄超;周春发 |
地址: | 中国台湾桃园市观*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扩散板 槽体 气体导管 气体搅拌装置 电镀系统 复数 气体流出孔 电镀液 突出部 电镀 活动性 本实用新型 槽体顶部 形状设计 不均匀 可透过 穿孔 壁面 穿入 流场 排出 装设 改良 | ||
1.一种电镀系统的气体搅拌装置,其特征在于,该电镀系统具有一槽体以供装设电镀液,该气体搅拌装置至少包含:
一扩散板,设置于该槽体接近底部,与该槽体底部形成一空间,该扩散板具有复数穿孔,且该扩散板并设有至少一突出部,该突出部朝向该槽体顶部;以及
一气体导管,由该槽体的一个壁面穿入,以将一气体注入该槽体,该气体导管位于该扩散板下方的部分设置复数个朝下的气体流出孔。
2.如权利要求1所述电镀系统的气体搅拌装置,其特征在于,该槽体容置放一电路板治具以夹持一待镀物。
3.如权利要求2所述电镀系统的气体搅拌装置,其特征在于,该扩散板的突出部两侧分别具有平面部以及连接该突出部及平面部的连接部,该扩散板的突出部相对位于该待镀物下方。
4.如权利要求3所述电镀系统的气体搅拌装置,其特征在于,该连接部为斜面。
5.如权利要求4所述电镀系统的气体搅拌装置,其特征在于,该平面部与斜面的夹角大于90度且小于180度。
6.如权利要求3所述电镀系统的气体搅拌装置,其特征在于,该连接部为垂直平面。
7.如权利要求1至6任一所述电镀系统的气体搅拌装置,其特征在于,该电镀系统设有一喷流装置,该喷流装置具有一出水管以及连接该出水管的动力件,该出水管由该槽体的一个壁面穿入,以将电镀液注入该槽体,该出水管位于该扩散板下方的部分设置复数个朝下的液体流出孔,而该动力件则提供电镀液由该出水管的液体流出孔朝外喷流的动力。
8.如权利要求7所述电镀系统的气体搅拌装置,其特征在于,该出水管环设有二列沿该出水管的纵长方向排列的液体流出孔,相邻两列的液体流出孔其夹角为90度。
9.如权利要求1至6任一所述电镀系统的气体搅拌装置,其特征在于,该气体导管环设有二列沿该气体导管的纵长方向排列的气体流出孔,相邻两列的气体流出孔其夹角为90度。
10.如权利要求9所述电镀系统的气体搅拌装置,其特征在于,该气体流出孔与该槽体底部呈45度夹角配置。
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