[实用新型]一种三维原子探针检测用样品台有效
申请号: | 201821210035.8 | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN209280391U | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 金传伟;张珂;吴园园 | 申请(专利权)人: | 江苏省沙钢钢铁研究院有限公司;江苏沙钢集团有限公司 |
主分类号: | G01N1/28 | 分类号: | G01N1/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215625 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 原子探针 螺纹孔 小螺纹 通孔 制样 三维 基座上表面 平头螺钉 螺纹杆 针支架 检测 漂移 样品支撑装置 本实用新型 不规则样品 大范围移动 方向延伸 基座连接 批量制备 特征区域 螺钉 凹槽壁 小平头 样品台 螺纹 夹持 成功率 匹配 调换 相交 平行 垂直 移动 成功 | ||
1.一种三维原子探针检测用样品台,其特征在于:包括螺纹杆(1)、基座(2)、平头螺钉(3)、螺纹孔(4)、通孔(5)、小螺纹孔(6)及小平头螺钉(7);螺纹杆(1)通过螺纹与基座(2)连接,基座(2)上表面一侧开有凹槽,凹槽壁和底面上开有螺纹孔(4),平头螺钉(3)尺寸与螺纹孔(4)相匹配,平头螺钉(3)长度要超过螺纹孔(4)孔深4-6mm;基座(2)上表面一侧开有平台,平台垂直开有通孔(5),平行方向上开有小螺纹孔(6),小螺纹孔(6)孔深度方向延伸至与对应通孔(5)相交。
2.根据权利要求1所述的三维原子探针检测用样品台,其特征在于:所述的基座(2)凹槽中放置样品,平头螺钉(3)通过凹槽底面上的螺纹孔(4)将样品上表面调节水平,平头螺钉(3)通过凹槽壁上的螺纹孔(4)固定样品。
3.根据权利要求1所述的三维原子探针检测用样品台,其特征在于:所述的通孔(5)中放置三维原子探针支架,小平头螺钉(7)通过小螺纹孔(6)固定好对应的支架。
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