[实用新型]一种三维原子探针检测用样品台

说明书

本实用新型涉及一种三维原子探针检测用样品台，包括螺纹杆、基座、平头螺钉、螺纹孔、通孔、小螺纹孔及小平头螺钉；螺纹杆通过螺纹与基座连接，基座上表面一侧开有凹槽，凹槽壁和底面上开有螺纹孔，平头螺钉尺寸与螺纹孔相匹配；基座上表面一侧开有平台，平台垂直开有通孔，平行方向上开有小螺纹孔，小螺纹孔孔深度方向延伸至与对应通孔相交。本实用新型提供将样品支撑装置和针支架合理设计在一个便于操作移动且距离适宜的基座上，从而成功解决了制样时频繁调换样品和针支架、大范围移动特征区域而导致制样成功率低的难题，也解决了不规则样品难以夹持及制样过程中易发生机械漂移的问题，同时还可批量制备三维原子探针检测用样品。

技术领域

本发明属于材料测试样品制备技术领域，涉及一种三维原子探针检测用样品台。

背景技术

三维原子探针检测用样品的制备方法主要有电解抛光法和聚焦离子束加工法。电解抛光法制备出的样品位置随机性强，对于有特殊位置要求的样品，如析出相、元素偏聚等位置，就无法通过电解抛光法制备。聚焦离子束加工法定位准确，但是在制样过程中需要两种样品台，即样品支撑台和三维原子探针样品支架台，在提取出特征区域后设备需要更换成三维原子探针样品支架台才能进行下一步操作。这一过程不仅耗时长，而且在更换支架台时容易造成提取出的特征区域脱落，同时每次只能制备一个特征区域的三维原子探针样品，效率较低。

实用新型内容

本发明的目的在于提供一种三维原子探针检测用样品台，将样品支撑装置和针支架合理设计在一个便于操作移动且距离适宜的基座上，从而成功解决了制样时频繁调换样品和针支架、大范围移动特征区域而导致制样成功率低的难题，也解决了不规则样品难以夹持及制样过程中易发生机械漂移的问题，同时还可批量制备三维原子探针检测用样品。

一种三维原子探针检测用样品台，包括螺纹杆、基座、平头螺钉、螺纹孔、通孔、小螺纹孔及小平头螺钉；螺纹杆通过螺纹与基座连接，基座上表面一侧开有凹槽，凹槽壁和底面上开有螺纹孔，平头螺钉尺寸与螺纹孔相匹配，平头螺钉长度要超过螺纹孔孔深4-6mm；基座上表面一侧开有平台，平台垂直开有通孔，平行方向上开有小螺纹孔，小螺纹孔孔深度方向延伸至与对应通孔相交。

进一步，所述的三维原子探针检测用样品台中基座凹槽中放置样品，平头螺钉通过凹槽底面上的螺纹孔将样品上表面调节水平，平头螺钉通过凹槽壁上的螺纹孔固定样品。

进一步，所述的三维原子探针检测用样品台中通孔中放置三维原子探针支架，小平头螺钉通过小螺纹孔固定好对应的支架。

与现有技术相比较，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中装置的结构简单，实用方便，操作安全；

2、本实用新型中装置适用于各种形状样品的夹持，解决了导电胶带粘黏样品在制样时容易发生机械漂移的问题，且方便调节样品高度，极大降低了样品制备要求，适用范围广；

3、本实用新型能够批量制备多个特征区域的三维原子探针样品，极大提高了样品制备的成功率，缩短了制样周期。

附图说明：

图1为本实用新型中三维原子探针检测用样品台；

其中：1-螺纹杆、2-基座、3-平头螺钉、4-螺纹孔、5-通孔、6-小螺纹孔、7-小平头螺钉；

图2-图4为批量制备出的含有特征区域的三维原子探针样品。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明做进一步描述，但实施例不应理解为对本实用新型的限制。