[实用新型]带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器有效
| 申请号： | 201821210583.0 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208904391U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 王倩;李少华;赵江山;周翊;吴劲松;辛茗;江锐;杨军红 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;G02B7/00;G02B27/42;G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线宽 荧光 反射 对准装置 光电二极管信号 准分子激光器 本实用新型 光电二极管 放电腔 对准 角度调节装置 光谱输出 光示波器 快速安装 最大能量 棱镜组 腔体 观测 输出 响应 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，包括：
棱镜组，用于将放电腔荧光进行反射，产生反射荧光；
光电二极管，用于接收所述反射荧光，并对反射荧光进行响应；
光示波器，与所述光电二极管连接，用于观测光电二极管信号强度；
角度调节装置，用于调节所述线宽压窄模块的角度，当所述光电二极管信号强度最强时，完成所述线宽压窄模块与所述放电腔的对准。
2.根据权利要求1所述的带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，还包括光栅，所述光栅与所述棱镜组配合进行准分子激光器光谱的控制及选择。
3.根据权利要求1所述的带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，所述线宽压窄模块的前端设置输出耦合镜，在所述线宽压窄模块的前端及所述输出耦合镜后端设置有狭缝，所述狭缝用于对光束的发散角进行压制。
4.根据权利要求2所述的带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，所述线宽压窄模块包括标准具，所述标准具置于所述棱镜组和所述光栅之间，用于对光束进行光谱控制。
5.一种准分子激光器，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的线宽压窄模块。
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