[实用新型]带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器

说明书

本实用新型公开了一种带有对准装置的线宽压窄模块，包括棱镜组，用于将放电腔荧光进行反射，产生反射荧光；光电二极管，用于接收所述反射荧光，并对反射荧光进行响应；光示波器，与所述光电二极管连接，用于观测光电二极管信号强度；角度调节装置，用于调节所述线宽压窄模块的角度，当所述光电二极管信号强度最强时，完成所述线宽压窄模块与所述放电腔的对准。此外，还提供一种准分子激光器。本实用新型解决了线宽压窄模块与腔体对准的问题，通过该对准装置，可实现线宽压窄模块的快速安装与更换，在保证光谱输出特性的条件下实现最大能量输出。

技术领域

本实用新型涉及激光技术领域，特别涉及一种带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器。

背景技术

线宽压窄模块是光刻用准分子激光器重要的组成部分。通过与放电腔的配合，线宽压窄模块可实现光谱窄化、中心波长调谐等功能，通过亚皮米线宽保证半导体硅片芯片图案的精细度。

棱镜组1配合光栅2的方法是目前使用较广的光谱控制方法。图1是准分子激光系统线宽压窄模块基本结构示意图，主要包含棱镜组1及光栅2。棱镜组1对到达光栅2之前的光束进行一维的扩束、准直，降低腔内光束能量密度，同时有利于光谱的选择和控制。

线宽压窄模块中的棱镜及光栅都属于腔内损耗元件。以四棱镜系统为例，每个棱镜通光面镀增透膜，能量透过率为98％，光栅衍射效率～50％，那么线宽压窄模块对激光能量的透过率为42％。由此可见，线宽压窄模块在实现线宽窄化的同时，也损失较多的激光能量。

线宽压窄模块与放电腔之间良好的对准措施及装置可以在保证线宽的同时最大程度提升激光输出能量，同时提高模块安装与更换速度，有利于实现产品模块化安装与维护。

实用新型内容

本实用新型旨在克服现有技术存在的缺陷，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，本实用新型实施例提供了一种带有对准装置的线宽压窄模块，包括：

棱镜组，用于将放电腔荧光进行反射，产生反射荧光；

光电二极管，用于接收所述反射荧光，并对反射荧光进行响应；

光示波器，与所述光电二极管连接，用于观测光电二极管信号强度；

角度调节装置，用于调节所述线宽压窄模块的角度，当所述光电二极管信号强度最强时，完成所述线宽压窄模块与所述放电腔的对准。

一些实施例中，还包括光栅，所述光栅与所述棱镜组配合进行准分子激光器光谱的控制及选择。

在一些实施例中，在所述线宽压窄模块的前端及所述输出耦合镜后端设置有狭缝，所述狭缝用于对光束的发散角进行压制。

在一些实施例中，所述线宽压窄模块包括标准具，所述标准具置于所述棱镜组和所述光栅之间，用于对光束进行光谱控制。

另一方面，本实用新型实施例还提供了一种用于激光器。所述激光器包括如前所述的带有对准装置的线宽压窄模块。

本实用新型的技术效果：本实用新型解决了线宽压窄模块与腔体对准的问题，通过该对准装置，可实现线宽压窄模块的快速安装与更换，在保证光谱输出特性的条件下实现最大能量输出。

附图说明

图1为现有准分子激光系统线宽压窄模块基本结构示意图。

图2为本实用新型提出的带有对准装置的线宽压窄模块的准分子激光器示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，而不构成对本实用新型的限制。