[实用新型]传送托盘有效
| 申请号： | 201821215568.5 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208706603U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 杨小兵 | 申请（专利权）人： | 广东汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 517000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弹性垫 托盘 磁性吸附部件 本实用新型 层叠组件 基板本体 机械震动 传送 基板 转运 人工作业 生产效率 重新调整 缓冲 层间 | ||
1.一种传送托盘，其特征在于，包括：
基板本体，所述基板本体包括基板(6)及设置于所述基板(6)上的弹性垫(4)；
磁性吸附部件，所述磁性吸附部件(3)设置于所述弹性垫(4)上。
2.根据权利要求1所述的传送托盘，其特征在于，所述弹性垫(4)上设置有凹槽结构，所述磁性吸附部件(3)嵌入所述凹槽结构中。
3.根据权利要求2所述的传送托盘，其特征在于，所述凹槽结构为条形结构，所述磁性吸附部件(3)为与所述凹槽结构相匹配的条形磁铁。
4.根据权利要求3所述的传送托盘，其特征在于，所述条形磁铁的数量为多个且平行设置；
相邻两个所述条形磁铁的间距小于或等于相邻两个所述条形磁铁的最大磁性吸引距离的总和。
5.根据权利要求2所述的传送托盘，其特征在于，所述基板(6)的上表面外边缘具有供机械手夹具伸入的夹具槽(61)。
6.根据权利要求5所述的传送托盘，其特征在于，所述基板的上表面外边缘设置斜切角结构，所述夹具槽(61)设置在斜切角结构位置。
7.根据权利要求1-6任一项所述的传送托盘，其特征在于，还包括设置于所述基板本体上，能够覆盖所述磁性吸附部件(3)的耐磨层(1)；
所述耐磨层(1)的厚度小于所述磁性吸附部件(3)的最大磁性吸引距离。
8.根据权利要求1所述的传送托盘，其特征在于，所述磁性吸附部件(3)到所述基板本体的另一面的距离大于所述磁性吸附部件(3)的最大磁性吸引距离。
9.根据权利要求3或4所述的传送托盘，其特征在于，所述条形磁铁为橡胶磁铁。
10.根据权利要求7所述的传送托盘，其特征在于，所述的耐磨层(1)为高密度聚乙烯膜层，所述弹性垫(4)为橡胶垫。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
