[实用新型]一种多工位集成电路熔丝修调测试系统有效
| 申请号： | 201821234593.8 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN208655575U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王萃东;常兵;施明明;齐和峰;赵健 | 申请（专利权）人： | 江苏七维测试技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 赵海波;曹键 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 熔丝 继电器控制 测试系统 多工位 探针卡 集成电路 本实用新型 测试机 探针台 转换板 晶圆 继电器 译码器 集成电路芯片 测试 测试过程 工作难度 工作效率 熔丝探针 探针 工作量 节约 转换 | ||
1.一种多工位集成电路熔丝修调测试系统，其特征在于它包括测试机(1)、继电器控制位转换板(2)、熔丝板(3)以及探针台(4)，探针台(4)上设置有探针卡(5)，探针卡(5)上的探针向下与晶圆(6)接触，对晶圆(6)进行测试与熔丝作业；
继电器控制位转换板(2)上的译码器将测试机(1)转换出更多的继电器控制位，每个继电器控制位分别连接于熔丝板(3)上的继电器用于控制探针卡(5)上的多个熔丝探针。
2.根据权利要求1所述的一种多工位集成电路熔丝修调测试系统，其特征在于继电器控制位转换板(2)上设置有继电器控制位转换板插针(2.1)以及继电器控制位转换板牛角插座(2.2)，继电器控制位转换板(2)上还集成有多组译码器(2.3)，多组译码器(2.3)并联于继电器控制位转换板插针(2.1)以及继电器控制位转换板牛角插座(2.2)之间，其中继电器控制位转换板插针(2.1)与测试机(1)的继电器输出工位的通过第一排线连接，
熔丝板(3)上设置有第一熔丝板牛角插座(3.1)以及第二熔丝板牛角插座(3.2)，熔丝板(3)上还集成有多个继电器(3.3)以及相应个数的电容(3.4)，多个继电器(3.3)以及相应个数的电容(3.4)并联于第一熔丝板牛角插座(3.1)以及第二熔丝板牛角插座(3.2)之间，其中第一熔丝板牛角插座(3.1)与继电器控制位转换板牛角插座(2.2)之间通过第二排线连接，
探针卡(5)上设置有第一探针卡牛角插座(5.1)以及第二探针卡牛角插座(5.2)，探针卡(5)上还集成有探针组(5.3)，探针组(5.3)包括多个熔丝探针以及多个测试探针，其中第一探针卡牛角插座(5.1)与第二熔丝板牛角插座(3.2)通过第三排线连接，第二探针卡牛角插座(5.2)与测试机(1)通过第四排线连接。
3.根据权利要求2所述的一种多工位集成电路熔丝修调测试系统，其特征在于熔丝板(3)的四角的安装孔通过连接件连接于探针台(4)的机台上，而继电器控制位转换板(2)的四角的安装孔通过连接件连接于测试机(1)的侧面。
4.根据权利要求2所述的一种多工位集成电路熔丝修调测试系统，其特征在于继电器控制位转换板(2)和熔丝板(3)集成于一体并且安装于探针台(4)的机台上。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
