[实用新型]静电式气浮平台有效
| 申请号： | 201821257961.0 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN208716401U | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 陈裕民 | 申请（专利权）人： | 御杰科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G54/00 | 分类号： | B65G54/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 关宇辰 |
| 地址： | 中国台湾新竹县竹东*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板 工作表面 静电结构 气浮孔 气浮平台 静电 静电式 正向力 负向 分布设置 静电吸力 浮力 通电 平衡 | ||
1.一种静电式气浮平台，用以供一基板浮在平台上方，其特征在于，包括：
一基座，具有一工作表面，且该工作表面上设有多个气浮孔；以及
一静电结构，设置于该工作表面上并裸露这些气浮孔；
其中，这些气浮孔用以对所述基板提供正向力，而该静电结构则于通电产生静电并对所述基板提供由静电造成的负向力。
2.如权利要求1所述的静电式气浮平台，其特征在于，该静电结构由多个具有电介质的电子回路构成。
3.如权利要求2所述的静电式气浮平台，其特征在于，所述电介质为陶瓷、有机材料或阳极氧化层。
4.如权利要求3所述的静电式气浮平台，其特征在于，各所述气浮孔呈多排的排列于该工作表面上，且各所述电子回路则呈片状地介于各排的所述气浮孔之间。
5.如权利要求3所述的静电式气浮平台，其特征在于，该基座的工作表面上凹设多个对应这些电子回路的埋槽，且这些电子回路分别埋设于各所述埋槽内。
6.如权利要求3所述的静电式气浮平台，其特征在于，这些电子回路直接贴覆于该基座的工作表面上。
7.如权利要求1至6中任一项所述的静电式气浮平台，其特征在于，该基座具有一延伸段，且该延伸段上亦设有气浮孔及静电结构。
8.如权利要求7所述的静电式气浮平台，其特征在于，该延伸段上的该静电结构配置于该延伸段两个外侧处并沿其长度方向延伸，而该延伸段上的这些气浮孔则配置于内侧并沿长度方向排列。
9.如权利要求7所述的静电式气浮平台，其特征在于，该延伸段上的该静电结构配置于该延伸段中间处并沿其长度方向延伸，而该延伸段上的这些气浮孔则配置于两侧处沿并沿长度方向排列。
10.如权利要求1所述的静电式气浮平台，其特征在于，该静电结构由陶瓷、有机材料或阳极氧化层构成层状体，并披覆于该基座的工作表面上。
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