[实用新型]一种多层薄膜的制备装置有效
| 申请号： | 201821261167.3 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN209024630U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 夏洋 | 申请（专利权）人： | 嘉兴科民电子设备技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/458;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市南湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 第二腔室 容置空间 传送机构 第一腔室 多层薄膜 制备装置 腔室 薄膜生长系统 材料技术领域 本实用新型 真空机械手 薄膜生长 技术效果 腔室容置 相对设置 占用空间 反应腔 集束型 体积小 真空泵 门阀 容置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多层薄膜的制备装置，其特征在于，所述装置包括：
第一腔室，所述第一腔室具有一容置空间；
第二腔室，所述第二腔室设置在所述容置空间内，且所述第二腔室容置第一材质；
第三腔室，所述第三腔室与所述第二腔室相对设置，且所述第三腔室容置第二材质；
传送机构，所述传送机构设置在所述容置空间内。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述传送机构包括：
支撑杆，所述支撑杆设置在所述第二腔室与所述第三腔室之间；
置物盘，所述置物盘与所述支撑杆垂直设置，所述置物盘相对所述第二腔室具有第一位置和第二位置，其中，所述第一位置为所述置物盘和所述第二腔室具有一预定距离，所述第二位置为所述置物盘接触所述第二腔室顶部后的位置。
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述传送机构还包括：
所述置物盘可绕所述支撑杆旋转。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
第四腔室，所述第四腔室设置在所述容置空间内，且所述第四腔室容置第三材质。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
所述第一材质不同于所述第二材质。
6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
所述第二材质不同于所述第三材质。
7.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
M个通孔，所述M个通孔设置在所述置物盘上，其中，M为正整数。
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