[实用新型]一种板式PECVD的自动上料设备有效
| 申请号： | 201821262801.5 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN209291373U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 陈剑雨;王树林;倪鹏玉;陈清彬;姚晓宇 | 申请（专利权）人： | 福建钜能电力有限公司 |
| 主分类号： | B65G43/08 | 分类号： | B65G43/08;B65G47/90;B65G47/91;C23C16/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 351111 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平移升降机构 空料盒 满料盒 四工位 板式 装载 排出机构 红光区 片区 料盒升降机构 自动上料设备 本实用新型 缓冲料 硅片 上料 载板 抓手 机器人 镀膜硅片 升降机构 高效率 排出段 料盒 预设 自动化 | ||
【权利要求书】：
1.一种板式PECVD的自动上料设备，其特征在于：包括满料盒装载与空料盒排出机构(1)、料盒升降机构(2)、平移升降机构(3)、硅片缓冲料盒(4)、红光区(5)、放片区(6)，四工位抓手(7)、四工位机器人(8)、载板升降机构(9)，所述满料盒装载与空料盒排出机构(1)由两组设置在设备两侧的满料盒装载段(11)和空料盒排出段(12)组成，所述空料盒排出段(12)设置在满料盒装载段(11)上方，所述满料盒装载与空料盒排出机构(1)通过料盒升降机构(2)与平移升降机构(3)连接，所述平移升降机构(3)前端预设硅片缓冲料盒(4)，所述放片区(6)设置在载板升降机构(9)上，所述平移升降机构(3)和红光区(5)设置在放片区(6)两侧，所述四工位抓手(7)设置在红光区(5)上方，所述四工位机器人(8)设置在放片区(6)上方。
2.根据权利要求1所述一种板式PECVD的自动上料设备，其特征在于：所述满料盒装载段(11)和料盒升降机构(2)均设置有感应器。
3.根据权利要求1所述一种板式PECVD的自动上料设备，其特征在于：所述放片区(6)分为四个载板工位，所述载板工位矩阵排列。
4.根据权利要求1所述一种板式PECVD的自动上料设备，其特征在于：所述四工位抓手(7)和四工位机器人(8)分别对应每个载板工位设置。
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