[实用新型]一种板式PECVD的自动上料设备

说明书

本实用新型公开了一种板式PECVD的自动上料设备，包括满料盒装载与空料盒排出机构、料盒升降机构、平移升降机构、硅片缓冲料盒、红光区、放片区，四工位抓手、四工位机器人、载板升降机构，所述满料盒装载与空料盒排出机构由满料盒装载段和空料盒排出段组成，满料盒装载与空料盒排出机构通过料盒升降机构与平移升降机构连接，平移升降机构前端预设硅片缓冲料盒，平移升降机构和红光区设置在放片区两侧，四工位抓手设置在红光区上方，四工位机器人设置在放片区上方。本实用新型可以将放置于料盒中的待镀膜硅片快速、准确的转移至载板上，提升上料速率，降低操作员的劳动强度和操作难度，实现板式PECVD上料的自动化、高效率。

技术领域

本实用新型涉及PECVD设备技术领域，尤其涉及一种板式PECVD的自动上料设备。

背景技术

硅基异质结电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。PECVD系统是模块化系统，将硅片制绒及清洗预处理之后，由载板传送，进入预热腔室，然后完成I，N(或P)层沉积，之后通过冷却机构进行冷却，完成镀膜工艺。

在制绒工序中，硅片由装片机装载于制绒料盒中，经过各个工艺槽及清洗槽，完成制绒，干燥后进入PECVD工序。装于制绒料盒中的硅片无法直接进入板式PECVD设备进行镀膜，需将制绒料盒中的硅片取出，铺满载板所有片位后，由载板传送进入PECVD腔室，执行镀膜工艺。目前，对于板式PECVD的上料可由人工完成，即操作员从制绒花篮中取出硅片，人工放置于载板各片位，直至放满整副载板所有片位，再将承载硅片的载板传入PECVD腔室进行镀膜。或利用简易上料机构执行上料操作。采用人工上料的方式，上料速度慢，逐片取出放于载板片位增加了操作员的劳动强度和操作难度。采用简易上料机构，无法保证放片精度，经常出现破片或漏放片。基于板式PECVD设备的结构特点，结合制绒工艺后硅片的收集方式，为提高上料效率，降低上料过程中硅片的破损量，设计开发一种板式 PECVD的自动上料设备。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种板式PECVD的自动上料设备，解决人工上料速度慢，劳动强度和操作难度都较大，简易上料机构，无法保证放片精度，经常出现破片或漏放片的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种板式 PECVD的自动上料设备，包括满料盒装载与空料盒排出机构、料盒升降机构、平移升降机构、硅片缓冲料盒、红光区、放片区，四工位抓手、四工位机器人、载板升降机构，所述满料盒装载与空料盒排出机构由两组设置在设备两侧的满料盒装载段和空料盒排出段组成，所述空料盒排出段设置在满料盒装载段上方，所述满料盒装载与空料盒排出机构通过料盒升降机构与平移升降机构连接，所述平移升降机构前端预设硅片缓冲料盒，所述放片区设置在载板升降机构上，所述平移升降机构和红光区设置在放片区两侧，所述四工位抓手设置在红光区上方，所述四工位机器人设置在放片区上方。

进一步的，所述满料盒装载段和料盒升降机构均设置有感应器。

进一步的，所述放片区分为四个载板工位，所述载板工位矩阵排列。

进一步的，所述四工位抓手和四工位机器人分别对应每个载板工位设置。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

1、本实用新型设置有硅片缓冲料盒，可以在换载板的过程中仍可保持送料，避免设备的等待时间，使上料过程更加流畅，提高设备工作时效；

2、本实用新型可以将放置于料盒中的待镀膜硅片快速、准确的转移至载板上，提升上料速率，降低操作员的劳动强度和操作难度，通过设置的反馈装置，可以实现取片、放片快速准确，在提升上料速度的同时，保证上料质量，实现板式PECVD上料的自动化、高效率。

附图说明