[实用新型]自清扫真空管路系统

权利要求书

1.一种自清扫真空管路系统，其特征在于，包括：

真空泵；

真空管路，一端与所述真空泵相连接，另一端延伸至机械手臂的抓取端；

第一开关，位于所述真空管路上；

清洗气体供给源；

清洗管路，一端与所述清洗气体供给源相连接，另一端与所述真空管路相连通；所述清洗管路与所述真空管路相连通的连接处位于所述第一开关远离所述真空泵的一侧；

第二开关，位于所述清洗管路上；

在机台端的所述机械手臂停止工作后控制所述第一开关关闭，并在所述机械手臂停止工作预定时间时发出反馈信号的真空控制装置，与所述第一开关及所述机台端相连接；

接收所述真空控制装置反馈的信号后控制所述第二开关工作的清洗控制装置，与所述真空控制装置及所述第二开关相连接。

2.根据权利要求1所述的自清扫真空管路系统，其特征在于，所述自清洗真空管路系统还包括压力侦测单元，所述压力侦测单元与所述真空管路相连通。

3.根据权利要求1所述的自清扫真空管路系统，其特征在于，所述清洗气体供给源包括清洁干燥空气供给源、氮气供给源或惰性气体供给源。

4.根据权利要求1所述的自清扫真空管路系统，其特征在于，所述自清扫真空管路系统还包括三通连接头，所述清洗管路经由所述三通连接头与所述真空管路相连通。

5.根据权利要求1所述的自清扫真空管路系统，其特征在于，所述真空控制装置包括：

接收所述机械手臂停止工作信号的第一接收单元，与所述机台端相连接；

在机台端的所述机械手臂停止工作后控制所述第一开关关闭的第一控制单元，与所述第一接收单元及所述第一开关相连接；

设定所述预定时间，并将所述机械手臂实际停止工作时间与所述预定时间进行比对的设定比对单元，与所述第一接收单元相连接；

在所述机械手臂停止工作预定时间时向所述清洗控制装置发出反馈信号的反馈单元，与所述设定比对单元及所述清洗控制装置相连接。

6.根据权利要求5所述的自清扫真空管路系统，其特征在于，所述清洗控制装置包括：

接收所述反馈单元发出的反馈信号的第二接收单元，与所述反馈单元相连接；

控制所述第二开关工作的第二控制单元，与所述第二接收单元及所述第二开关相连接。