[实用新型]一种真空设备风冷散热装置有效
申请号: | 201821273183.4 | 申请日: | 2018-08-08 |
公开(公告)号: | CN208445928U | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 周兴宝 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技(北京)有限公司 |
主分类号: | H05K7/20 | 分类号: | H05K7/20 |
代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 王立民;周放 |
地址: | 102299 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 密封散热腔 散热气体 中空管路 输入管 风冷散热装置 本实用新型 真空设备 真空腔室 室内 连通 工作性能 热量带走 室内循环 真空腔 流动 保证 | ||
1.一种真空设备风冷散热装置,其特征在于,包括真空腔室(1)、密封散热腔室(2)、中空管路(3)和散热气体输入管(4),所述密封散热腔室(2)设于所述真空腔室(1)内,所述中空管路(3)和所述散热气体输入管(4)均一端与所述真空腔室(1)的外侧连通,另一端与所述密封散热腔室(2)连通,所述中空管路(3)套设在所述散热气体输入管(4)上,所述中空管路(3)的内径大于所述散热气体输入管(4)的外径。
2.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置,其特征在于,所述中空管路(3)通过第一密封部件与所述真空腔室(1)的壁面连接,通过第二密封部件与所述密封散热腔室(2)的壁面连接。
3.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置,其特征在于,还包括气源装置,所述散热气体输入管(4)与所述气源装置的出口连接。
4.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置,其特征在于,所述密封散热腔室(2)内设有待散热部件(5),所述散热气体输入管(4)伸至所述待散热部件(5)远离所述散热气体输入管(4)入口的边缘外侧。
5.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置,其特征在于,所述密封散热腔室(2)内设有压力传感器和温度传感器,所述散热气体输入管(4)上设有气体流量调节阀。
6.根据权利要求5所述的真空设备风冷散热装置,其特征在于,所述散热气体输入管(4)为L形管,包括水平段和竖直段,所述竖直段的所述散热气体输入管(4)上设有气孔。
7.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置,其特征在于,所述中空管路(3)为连续凹凸状结构。
8.根据权利要求1-7任一项所述的真空设备风冷散热装置,其特征在于,所述散热气体输入管(4)的入口设有干燥盒。
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