[实用新型]一种真空设备风冷散热装置

权利要求书

1.一种真空设备风冷散热装置，其特征在于，包括真空腔室(1)、密封散热腔室(2)、中空管路(3)和散热气体输入管(4)，所述密封散热腔室(2)设于所述真空腔室(1)内，所述中空管路(3)和所述散热气体输入管(4)均一端与所述真空腔室(1)的外侧连通，另一端与所述密封散热腔室(2)连通，所述中空管路(3)套设在所述散热气体输入管(4)上，所述中空管路(3)的内径大于所述散热气体输入管(4)的外径。

2.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述中空管路(3)通过第一密封部件与所述真空腔室(1)的壁面连接，通过第二密封部件与所述密封散热腔室(2)的壁面连接。

3.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，还包括气源装置，所述散热气体输入管(4)与所述气源装置的出口连接。

4.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述密封散热腔室(2)内设有待散热部件(5)，所述散热气体输入管(4)伸至所述待散热部件(5)远离所述散热气体输入管(4)入口的边缘外侧。

5.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述密封散热腔室(2)内设有压力传感器和温度传感器，所述散热气体输入管(4)上设有气体流量调节阀。

6.根据权利要求5所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述散热气体输入管(4)为L形管，包括水平段和竖直段，所述竖直段的所述散热气体输入管(4)上设有气孔。

7.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述中空管路(3)为连续凹凸状结构。

8.根据权利要求1-7任一项所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述散热气体输入管(4)的入口设有干燥盒。