[实用新型]一种真空设备风冷散热装置

说明书

本实用新型公开了一种真空设备风冷散热装置，包括真空腔室、密封散热腔室、中空管路和散热气体输入管，所述密封散热腔室设于所述真空腔室内，所述中空管路和所述散热气体输入管均一端与所述真空腔室的外侧连通，另一端与所述密封散热腔室连通，所述中空管路套设在所述散热气体输入管上，所述中空管路的内径大于所述散热气体输入管的外径；本实用新型的真空设备风冷散热装置通过中空管路和散热气体输入管向密封散热腔室内输入散热气体，通过散热气体在密封散热腔室内循环流动，将密封散热腔室内的多余热量带走，与现有技术相比，本实用新型可以对密封散热腔室进行有效降温，保证各功能模块和部件的良好工作性能。

技术领域

本实用新型涉及光伏制备技术领域，特别是一种真空设备风冷散热装置。

背景技术

在物理及化学气相沉积的真空设备中，为了满足特定需求，内部需要添加一些功能模块，这些功能模块一般通过电驱动部件为其提供动力。

但是在真空环境下，这些功能模块和电驱动部件无法通过热传导和热交换进行散热，在温度过高的情况下，功能模块和电驱动部件的工作性能可能就会受影响，性能降低或者甚至无法工作。

针对上述情况，为了解决真空环境下的散热问题，有必要提供一种真空设备风冷散热装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空设备风冷散热装置，以解决现有技术中的技术问题，它能够通过风冷散热带走真空设备内的多余热量，保证各部件处于合适的温度范围内。

为了实现上述目的，本实用新型提供了如下的技术方案：

一种真空设备风冷散热装置，包括真空腔室、密封散热腔室、中空管路和散热气体输入管，所述密封散热腔室设于所述真空腔室内，所述中空管路和所述散热气体输入管均一端与所述真空腔室的外侧连通，另一端与所述密封散热腔室连通，所述中空管路套设在所述散热气体输入管上，所述中空管路的内径大于所述散热气体输入管的外径。

优选地，所述中空管路通过第一密封部件与所述真空腔室的壁面连接，通过第二密封部件与所述密封散热腔室的壁面连接。

优选地，还包括气源装置，所述散热气体输入管与所述气源装置的出口连接。

优选地，所述密封散热腔室内设有待散热部件，所述散热气体输入管伸至所述待散热部件远离所述散热气体输入管入口的边缘外侧。

优选地，所述密封散热腔室内设有压力传感器和温度传感器，所述散热气体输入管上设有气体流量调节阀。

优选地，所述散热气体输入管为L形管，包括水平段和竖直段，所述竖直段的所述散热气体输入管上设有气孔。

优选地，所述中空管路为连续凹凸状结构。

优选地，所述散热气体输入管的入口设有干燥盒。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型提供了一种真空设备风冷散热装置，包括真空腔室、密封散热腔室、中空管路和散热气体输入管，所述密封散热腔室设于所述真空腔室内，所述中空管路和所述散热气体输入管均一端与所述真空腔室的外侧连通，另一端与所述密封散热腔室连通，所述中空管路套设在所述散热气体输入管上，所述中空管路的内径大于所述散热气体输入管的外径；本实用新型的真空设备风冷散热装置通过中空管路和散热气体输入管向密封散热腔室内输入散热气体，通过散热气体在密封散热腔室内循环流动，将密封散热腔室内的多余热量带走，与现有技术相比，本实用新型可以有效降低密封散热腔室内的温度，保证密封散热腔室的温度处于合适范围，保证各功能模块和部件的良好工作性能。

附图说明

图1是本实用新型实施例的真空设备风冷散热装置的结构示意图。

附图标记说明：