[实用新型]一种多坩埚晶体生长炉有效
| 申请号： | 201821279912.7 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN208685104U | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 郭宗海;张可生 | 申请（专利权）人： | 秦皇岛本征晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 北京翔瓯知识产权代理有限公司 11480 | 代理人： | 康云晓 |
| 地址： | 066000 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 支撑板 隔热 坩埚 多坩埚晶体生长 隔热安装板 安装孔 下炉体 内腔 本实用新型 晶体生长炉 上炉体内腔 互不接触 晶体生长 体内横向 温度梯度 生长 加热体 上端面 上炉体 炉体 通孔 | ||
【权利要求书】：
1.一种多坩埚晶体生长炉，包括炉体（1），其特征在于：所述炉体内横向设有隔热支撑板（2），所述隔热支撑板将所述炉体分成互不接触的上炉体（11）和下炉体（12），所述上炉体内腔设有第一内腔（3），所述下炉体设有第二内腔（4），所述第一内腔内设有加热体（6），所述隔热支撑板上设有隔热安装板（5），所述隔热安装板上端面设有若干用于坩埚（9）底部安装的安装孔（51），所述隔热支撑板上设有与所述安装孔对应设置的通孔（21）。
2.根据权利要求1所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：所述隔热支撑板和所述隔热安装板由耐火隔热材料制成。
3.根据权利要求2所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：所述隔热支撑板和所述隔热安装板由莫来石制成。
4.根据权利要求3所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：所述炉体上还设有可开合的上盖（7）。
5.根据权利要求4所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：所述安装孔设有8个。
6.根据权利要求5所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：所述上盖底部设有凸台（71），所述凸台与所述上炉体内壁卡接配合。
7.根据权利要求6所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：所述加热体为电阻丝加热体。
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