[实用新型]一种多坩埚晶体生长炉有效
申请号: | 201821279912.7 | 申请日: | 2018-08-09 |
公开(公告)号: | CN208685104U | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 郭宗海;张可生 | 申请(专利权)人: | 秦皇岛本征晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 北京翔瓯知识产权代理有限公司 11480 | 代理人: | 康云晓 |
地址: | 066000 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支撑板 隔热 坩埚 多坩埚晶体生长 隔热安装板 安装孔 下炉体 内腔 本实用新型 晶体生长炉 上炉体内腔 互不接触 晶体生长 体内横向 温度梯度 生长 加热体 上端面 上炉体 炉体 通孔 | ||
一种多坩埚晶体生长炉。主要解决了现在的晶体生长炉无法多坩埚生长的问题。其特征在于:所述炉体内横向设有隔热支撑板(2),所述隔热支撑板将所述炉体分成互不接触的上炉体(11)和下炉体(12),所述上炉体内腔设有第一内腔(3),所述下炉体设有第二内腔(4),所述第一腔内设有加热体(6),所述隔热支撑板上设有隔热安装板(5),所述隔热安装板上端面设有若干用于坩埚(9)底部安装的安装孔(51),所述隔热支撑板上设有与所述安装孔对应设置的通孔(21)。本实用新型提供一种多坩埚晶体生长炉,该隔热安装板可以安装多个坩埚,实现多坩埚生长,另一方面可以产生适合晶体生长的温度梯度,得到高质量的晶体。
技术领域
本实用新型涉及晶体生长炉技术领域,特别涉及一种多坩埚晶体生长炉。
背景技术
所谓晶体生长是物质在特定的物理和化学条件下由气相、液相或固相形成晶体的过程。人类在数千年前就会晒盐和制糖。人工模仿天然矿物并首次合成成功的是刚玉宝石(α氧化铝)一法国化学家A。维尔纳叶约在1890年开始试验用氢氧焰熔融氧化铝粉末,以生长宝石,这个方法一直沿用至今,仍是生长轴承用宝石种装饰品宝石的主要方法。第二次世界大战后,由于天然水晶作为战略物资而引起人们的重视,科学家们又发明了水热法生长人工水晶。人们还在超高压下合成了金刚石,在高温条件下生长了成分复杂的云母等重要矿物,以补充天然矿物的不足。20世纪50年代。锗、硅单晶的生长成功,促进了半导体技术和电子工业的发展。20世纪60年代,由于研制出红宝石和钇铝石榴石单晶,为激光技术打下了牢固的基础。
晶体生长技术中,坩埚下降法是使用比较多的方法,这种方法的生产效率和单晶产率决定了晶体材料的成本,实现多坩埚晶体生长可用的多坩埚炉的设计是难点。
实用新型内容
为了克服背景技术的不足,本实用新型提供一种多坩埚晶体生长炉,主要解决了现在的晶体生长炉无法多坩埚生长的问题。
本实用新型所采用的技术方案是:
一种多坩埚晶体生长炉,包括炉体,所述炉体内横向设有隔热支撑板,所述隔热支撑板将所述炉体分成互不接触的上炉体和下炉体,所述上炉体内腔设有第一内腔,所述下炉体设有第二内腔,所述第一内腔内设有加热体,所述隔热支撑板上设有隔热安装板,所述隔热安装板上端面设有若干用于坩埚底部安装的安装孔,所述隔热支撑板上设有与所述安装孔对应设置的通孔。
所述隔热支撑板和所述隔热安装板由耐火隔热材料制成。
所述隔热支撑板和所述隔热安装板由莫来石制成。
所述炉体上还设有可开合的上盖。
所述安装孔设有8个。
所述上盖底部设有凸台,所述凸台与所述上炉体内壁卡接配合。
所述加热体为电阻丝加热体。
本实用新型的有益效果是:本实用新型提供一种多坩埚晶体生长炉,该隔热安装板可以安装多个坩埚,实现多坩埚生长,另一方面
可以产生适合晶体生长的温度梯度,得到高质量的晶体。
附图说明
图1为本实用新型一个实施例的剖视示意图。
图2为本实用新型一个实施例的隔热安装板的立体示意图。
具体实施方式
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