[实用新型]一种芯片扩膜机构及芯片分选机有效

专利信息
申请号: 201821287701.8 申请日: 2018-08-10
公开(公告)号: CN208712242U 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 田彪;蔡棒;向正彪;王小雪 申请(专利权)人: 苏州科阳光电科技有限公司
主分类号: B07C5/02 分类号: B07C5/02
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 215143 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 连接单元 芯片 膜环 芯片分选 固定环 周向均匀分布 环形腔室 上料口 顶针 本实用新型 间隙分布 均衡分布 可拆卸的 连接组件 设备领域 芯片筛选 作业效率 张紧力 夹设 平整
【权利要求书】:

1.一种芯片扩膜机构,其特征在于,包括:

固定环,其上设有膜,所述膜上放置有芯片;

扩膜环(1),其包括扩膜上部(11)和扩膜下部(12),所述扩膜上部(11)和所述扩膜下部(12)形成用于夹设所述固定环的环形腔室,所述环形腔室的一侧设有上料口(10);

连接组件,包括三个第一连接单元(21)和一第二连接单元(22),三个所述第一连接单元(21)和一所述第二连接单元(22)沿所述扩膜环(1)的周向均匀分布,所述第二连接单元(22)可拆卸的设于所述上料口(10)。

2.根据权利要求1所述的芯片扩膜机构,其特征在于,每个所述第一连接单元(21)包括至少两个螺钉。

3.根据权利要求1所述的芯片扩膜机构,其特征在于,所述第二连接单元(22)包括设于所述扩膜下部(12)上的扩膜夹子下部(222),及一端抵压于所述扩膜上部(11)的端面且与所述扩膜夹子下部(222)卡接的扩膜夹子上部(221)。

4.根据权利要求3所述的芯片扩膜机构,其特征在于,所述扩膜夹子上部(221)设有第一卡槽,所述扩膜夹子下部(222)设有能够插入所述第一卡槽的第一卡台(2221)。

5.根据权利要求4所述的芯片扩膜机构,其特征在于,所述第一卡槽设有三个,相邻两个所述第一卡槽之间形成一第二卡台(2211);所述第一卡台(2221)设有三个,相邻两个所述第一卡台(2221)之间形成能够插入所述第二卡台(2211)的一第二卡槽。

6.根据权利要求5所述的芯片扩膜机构,其特征在于,所述扩膜夹子上部(221)上设有压紧凸台(2212)。

7.根据权利要求6所述的芯片扩膜机构,其特征在于,还包括动力单元,所述动力单元能够驱动所述扩膜夹子上部(221)向扩膜夹子下部(222)运动使所述第一卡台(2221)插入所述第二卡槽内且同时使所述压紧凸台(2212)抵压于所述扩膜上部(11)的端面上。

8.根据权利要求1所述的芯片扩膜机构,其特征在于,还包括设于所述环形腔室内的绷紧环及驱动单元,所述驱动单元能够驱动所述扩膜环(1)沿其轴向靠近或远离所述绷紧环。

9.根据权利要求8所述的芯片扩膜机构,其特征在于,所述驱动单元为电机丝杠结构。

10.一种芯片分选机,其特征在于,包括权利要求1至9任一所述的芯片扩膜机构。

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