[实用新型]一种芯片扩膜机构及芯片分选机

说明书

本实用新型涉及芯片筛选设备领域，公开了一种芯片扩膜机构及芯片分选机，该芯片扩膜机构包括固定环，其上设有膜，膜上放置有芯片；扩膜环，包括扩膜上部和扩膜下部，扩膜上部和扩膜下部形成用于夹设固定环的环形腔室，环形腔室的一侧设有上料口；连接组件，包括三个第一连接单元和一第二连接单元，三个第一连接单元和一第二连接单元沿扩膜环的周向均匀分布，第二连接单元可拆卸的设于上料口。三个第一连接单元和一第二连接单元沿扩膜环的周向均匀分布，使固定环与扩膜环之间力在四个方向上均衡分布，使膜所受张紧力均匀而保持平整，避免顶针与膜之间的间隙分布不均导致出现单次吸不起芯片、吸两颗芯片或芯片丢失问题，提高芯片分选的作业效率。

技术领域

本实用新型涉及芯片筛选设备领域，尤其涉及一种芯片扩膜机构及芯片分选机。

背景技术

芯片筛选即是采用分选台将存在缺陷的芯片识别出来，在采用分选台对芯片进行筛选的过程中需要用到扩膜机构，扩膜机构的作用是对芯片进行扩膜夹紧。

现有的扩膜机构从三个方向对芯片进行夹紧，另一个方向设置进料口，便于工作人员放料，采用上述扩膜机构对芯片进行扩膜时存在以下技术问题：

1、扩膜后芯片上下左右四个方向受力不均匀，左右方向和上方的张紧力较大，而下方的张紧力较小。

2、在张紧力较小的区域内，芯片的张紧力较小，芯片竖直方向较高，在顶针高度不变的情况下，容易出现单次吸不起、吸两颗、或芯片丢失等问题。

3、作业时间延长，芯片流失异常率较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种芯片扩膜机构及芯片分选机，能够解决采用现有扩膜机构对芯片进行扩膜时存在的芯片受力不均匀、单次吸不起、吸两颗、或芯片丢失等问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种芯片扩膜机构，包括：

固定环，其上设有膜，所述膜上放置有芯片；

扩膜环，其包括扩膜上部和扩膜下部，所述扩膜上部和所述扩膜下部形成用于夹设所述固定环的环形腔室，所述环形腔室的一侧设有上料口；

连接组件，包括三个第一连接单元和一第二连接单元，三个所述第一连接单元和一所述第二连接单元沿所述扩膜环的周向均匀分布，所述第二连接单元可拆卸的设于所述上料口。

进一步地，每个所述第一连接单元包括至少两个螺钉。

进一步地，所述第二连接单元包括设于所述扩膜下部上的扩膜夹子下部，及一端抵压于所述扩膜上部的端面且与所述扩膜夹子下部卡接的扩膜夹子上部。

进一步地，所述扩膜夹子上部设有第一卡槽，所述扩膜夹子下部设有能够插入所述第一卡槽的第一卡台。

进一步地，所述第一卡槽设有三个，相邻两个所述第一卡槽之间形成一第二卡台；所述第一卡台设有三个，相邻两个所述第一卡台之间形成能够插入所述第二卡台的一第二卡槽。

进一步地，所述扩膜夹子上部上设有压紧凸台。

进一步地，还包括动力单元，所述动力单元能够驱动所述扩膜夹子上部向扩膜夹子下部运动使所述第一卡台插入所述第二卡槽内且同时使所述压紧凸台抵压于所述扩膜上部的端面上。

进一步地，还包括设于所述环形腔室内的绷紧环及驱动单元，所述驱动单元能够驱动所述扩膜环沿其轴向靠近或远离所述绷紧环。

进一步地，所述驱动单元为电机丝杠结构。

本实用新型还提供了一种芯片分选机，包括上述的芯片扩膜机构。