[实用新型]一种扫描装置

权利要求书

1.一种扫描装置，用于磁控溅射靶心磁场，其特征在于，包括底座(1)、靶心托架(3)、第一位置调节装置(8)、第二位置调节装置(9)、第一电机(4)、第二电机(5)、以及测量探针(6)；

所述靶心托架(3)设置在所述底座(1)上，用于固定靶心；所述第一位置调节装置(8)设置在所述底座(1)上且与所述靶心平行；所述测量探针(6)通过所述第二位置调节装置(9)固定在所述第一位置调节装置(8)上；所述第一电机(4)用于驱动所述测量探针(6)沿与所述靶心平行的方向滑动，所述第二电机(5)用于驱动所述测量探针(6)沿与所述靶心垂直的方向滑动。

2.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述测量探针(6)通过探针支架固定在所述第二位置调节装置(9)上，所述探针支架包括探针底座(61)以及L形支架(62)；所述L形支架(62)的一端固定在所述探针底座(61)上，另一端用于固定所述测量探针(6)；所述测量探针(6)垂直于所述底座(1)。

3.根据权利要求2所述的扫描装置，其特征在于，所述探针底座(61)的一侧固定有调节板(63)，所述调节板(63)与所述底座(1)平行。

4.根据权利要求2所述的扫描装置，其特征在于，所述第一位置调节装置(8)为导轨，所述导轨包括相互配合的导轨槽与滑块；所述第二位置调节装置(9)为丝杠传动装置，所述丝杠传动装置包括相互配合的丝杠与丝杠螺母，所述丝杠固定在所述滑块上，所述探针底座(61)固定在所述丝杠螺母上。

5.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，还包括设置在所述靶心托架(3)与所述第一位置调节装置(8)之间的消磁装置(7)，所述消磁装置(7)上设置有用于被所述测量探针(6)穿过的孔；所述消磁装置(7)通过第三位置调节装置(71)固定在所述底座(1)上。

6.根据权利要求5所述的扫描装置，其特征在于，所述第三位置调节装置(71)为气动装置。

7.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述靶心托架(3)为倒T型结构，顶部设置有用于固定所述靶心的凹槽(32)以及夹子(31)。

8.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述第一电机(4)、所述第二电机(5)以及所述测量探针(6)分别与控制器连接。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的扫描装置，其特征在于，所述底座(1)为包括至少四脚的矩形桌面结构，所述底座(1)的至少一个桌脚设置有可调节桌面地脚(10)。

10.根据权利要求9所述的扫描装置，其特征在于，还包括设置在所述底座(1)上的水平仪(2)；所述水平仪(2)的数量为两个，分别内嵌于所述底座(1)相邻的两条边。