[实用新型]一种扫描装置

说明书

本实用新型公开了一种扫描装置，用于磁控溅射靶心磁场，包括底座、靶心托架、第一位置调节装置、第二位置调节装置、第一电机、第二电机、以及测量探针；靶心托架设置在底座上，用于固定靶心；第一位置调节装置设置在底座上且与靶心平行；测量探针通过第二位置调节装置固定在第一位置调节装置上；第一电机用于驱动测量探针沿与靶心平行的方向滑动，第二电机用于驱动测量探针沿与靶心垂直的方向滑动。本实用新型所述扫描装置通过实现了对靶心的测量点和测量范围进行自动化扫描，相比于人工测量省时省力，节约人力和时间成本。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射靶心磁场扫描技术领域，特别是指一种扫描装置。

背景技术

目前，靶材的靶心磁场扫描仪多为手持式的，而手持式的磁场扫描仪一次只能扫描一个点，因此需要人工进行多次测量，费时费力，同时由于人工操作导致测量结果的精度差。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提出一种扫描装置，能够实现磁控溅射靶心磁场的自动扫描和测量，节约人力和时间成本。

基于上述目的本实用新型实施例提供的一种扫描装置，用于磁控溅射靶心磁场，包括底座、靶心托架、第一位置调节装置、第二位置调节装置、第一电机、第二电机、以及测量探针；

所述靶心托架设置在所述底座上，用于固定靶心；所述第一位置调节装置设置在所述底座上且与所述靶心平行；所述测量探针通过所述第二位置调节装置固定在所述第一位置调节装置上；所述第一电机用于驱动所述测量探针沿与所述靶心平行的方向滑动，所述第二电机用于驱动所述测量探针沿与所述靶心垂直的方向滑动。

可选的，所述测量探针通过探针支架固定在所述第二位置调节装置上，所述探针支架包括探针底座以及L形支架；所述L形支架的一端固定在所述探针底座上，另一端用于固定所述测量探针；所述测量探针垂直于所述底座。

可选的，所述探针底座的一侧固定有调节板，所述调节板与所述底座平行。

可选的，所述第一位置调节装置为导轨，所述导轨包括相互配合的导轨槽与滑块；所述第二位置调节装置为丝杠传动装置，所述丝杠传动装置包括相互配合的丝杠与丝杠螺母，所述丝杠固定在所述滑块上，所述探针底座固定在所述丝杠螺母上。

可选的，还包括设置在所述靶心托架与所述第一位置调节装置之间的消磁装置，所述消磁装置上设置有用于被所述测量探针穿过的孔；所述消磁装置通过第三位置调节装置固定在所述底座上。

可选的，所述第三位置调节装置为气动装置。

可选的，所述靶心托架为倒T型结构，顶部设置有用于固定所述靶心的凹槽以及夹子。

可选的，所述第一电机、所述第二电机以及所述测量探针分别与控制器连接。

可选的，所述底座为包括至少四脚的矩形桌面结构，所述底座的至少一个桌脚设置有可调节桌面地脚。

可选的，还包括设置在所述底座上的水平仪；所述水平仪的数量为两个，分别内嵌于所述底座相邻的两条边。

从上面所述可以看出，本实用新型实施例提供的一种扫描装置，通过将靶心固定在靶心托架上，并使用第一电机、第二电机自动调节测量探针的位置从而实现对靶心的测量点和测量范围进行自动化扫描，相比于人工测量省时省力，节约人力和时间成本；同时，相比于人工测量只能选取少量测量点，本实用新型所述的扫描装置在相同的时间内可以选择更多的测量点进行扫描，使得测量结果更加精确；最后，减少由于人工操作造成的测量精度不准确问题，提高测量精度，减小误差。

附图说明

图1为本实用新型实施例一种扫描装置的结构示意图。

具体实施方式