[实用新型]一种用于光强度探测的光电桥有效
申请号: | 201821291501.X | 申请日: | 2018-08-11 |
公开(公告)号: | CN208520479U | 公开(公告)日: | 2019-02-19 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 中山科立特光电科技有限公司 |
主分类号: | G01J1/44 | 分类号: | G01J1/44 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 528458 广东省中*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光强度探测 负电极 热敏感 电阻 电连接 孔洞 电信号变化 基准电源 检流计 串联 金属纳米颗粒 电极电连接 环境因素 监测误差 左右两侧 标准光 电极 电桥 填充 | ||
1.一种用于光强度探测的光电桥,其特征在于:包括热敏感线(1),所述热敏感线(1)的左右两侧设置有正/负电极(4),热敏感线(1)的中部还设置有电极(5),所述热敏感线(1)上还设置有孔洞(2),所述孔洞(2)内填充有金属纳米颗粒(3);所述正/负电极(4)与基准电源的正/负电极电连接,电阻R1、电阻R2串联后两端与所述基准电源正/负电极电连接,检流计(7)的一端与电极(5)电连接,检流计(7)的另一端与电阻R1、电阻R2串联处电连接。
2.如权利要求1所述的一种用于光强度探测的光电桥,其特征在于:所述金属纳米颗粒(3)为金、银形成的纳米颗粒。
3.如权利要求1所述的一种用于光强度探测的光电桥,其特征在于:所述金属纳米颗粒(3)为多种金属组合的层结构,由下及上依次为玻璃层(301)、铬层(302)、锗层(303)、硅层(304)、二氧化钛层(305)、二氟化镁(306)。
4.如权利要求3所述的一种用于光强度探测的光电桥,其特征在于:所述玻璃层(301)的厚度为20~150nm,所述铬层(302)的厚度为150~250nm,所述锗层(303)的厚度为25~45nm,所述硅层(304)的厚度为25~45nm,所述二氧化钛层(305)的厚度为40~60nm,所述二氟化镁(306)的厚度为100~150nm。
5.如权利要求4所述的一种用于光强度探测的光电桥,其特征在于:所述玻璃层(301)的厚度为35nm,所述铬层(302)的厚度为210nm,所述锗层(303)的厚度为35nm,所述硅层(304)的厚度35nm,所述二氧化钛层(305)的厚度为55nm,所述二氟化镁(306)的厚度为120nm。
6.如权利要求3所述的一种用于光强度探测的光电桥,其特征在于:所述铬层(302)还可以是钛、铱、钨、镍、银中的一种或多种组合成的合金。
7.如权利要求1所述的一种用于光强度探测的光电桥,其特征在于:所述热敏感线(1)材料包括VOx、Si、SiGe、YBCO或NiO。
8.如权利要求1所述的一种用于光强度探测的光电桥,其特征在于:所述热敏感线(1)的下方还设置有衬底层(6)。
9.如权利要求8所述的一种用于光强度探测的光电桥,其特征在于:所述衬底层(6)为二氧化硅。
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