[实用新型]一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统有效
| 申请号： | 201821298555.9 | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN208420812U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 王祥科;杨坤;王富德;李建浩 | 申请（专利权）人： | 朗析仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/20 | 分类号： | G01N30/20 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 范海燕 |
| 地址： | 201702 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 文丘里 三氯化硼 真空泵 开关阀 色谱 本实用新型 氮气进口 废气出口 氦气置换 取样系统 电子工业 吹扫 氮气 前处理系统 系统抽真空 真空泵气路 真空泵系统 分解 氦气进口 进样管路 进样系统 气路连接 真空系统 真空置换 超纯氦 吹扫气 三通阀 四通阀 遇水 置换 分析 堵塞 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统，其特征在于：包括氦气置换系统、文丘里真空泵系统以及色谱前处理系统(15)；
所述氦气置换系统包括氦气进口(4)、开关阀a(5)、开关阀b(13)以及四通阀(14)，所述氦气进口(4)气路连接开关阀a(5)，所述开关阀a(5)气路连接有三通阀a(3)，所述三通阀a(3)气路连接有三通阀b(8)，所述三通阀b(8)与所述开关阀b(13)气路连接，所述开关阀b(13)与所述四通阀(14)气路连接，所述四通阀(14)与所述色谱前处理系统(15)气路连接，所述四通阀(14)气路连接有氦气吹扫口(17)与尾气出口(16)，所述三通阀a(3)气路连接有开关阀c(2)，所述开关阀c(2)气路连接有样品进口(1)；
所述文丘里真空系统包括文丘里真空泵(11)、氮气进口(10)以及废气出口(12)，所述氮气进口(10)与所述废气出口(12)均与所述文丘里真空泵(11)气路连接，所述文丘里真空泵(11)通过开关阀d(9)与所述三通阀b(8)气路连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统，其特征在于：还包括真空压力表(6)，所述真空压力表(6)通过三通阀c(7)连接于所述三通阀a(3)与所述三通阀b(8)之间。
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