[实用新型]一种硅片自动插片机的硅片花篮支撑安装架有效
申请号: | 201821315301.3 | 申请日: | 2018-08-15 |
公开(公告)号: | CN208478306U | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 曾萍珍 | 申请(专利权)人: | 曾萍珍 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411 | 代理人: | 罗雄燕 |
地址: | 341000 江西省赣*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 置物板 硅片花篮 支撑安装架 自动插片机 活塞 保护罩 硅片 滑轨 螺杆套 螺杆 气缸 底板 本实用新型 外表面套 中间设置 插片机 滑动 伸长 挡块 滑槽 滑块 花篮 锁定 贯穿 | ||
1.一种硅片自动插片机的硅片花篮支撑安装架,包括置物板(1)和底板(2),其特征在于:所述置物板(1)的顶部一侧固定有挡块(6),所述置物板(1)的顶部中间分别设置有锁定块(13)和滑槽(14),所述置物板(1)的底部一侧固定有滑轨(7),所述置物板(1)的底部中间设置有保护罩(16),所述保护罩(16)的外表面贯穿有螺杆(15),所述螺杆(15)的外表面套接有螺杆套(17),且所述螺杆套(17)位于保护罩(16)的内部,螺杆套(17)的顶部固定有连接杆(18),所述连接杆(18)的顶端通过滑槽(14)贯穿置物板(1)并与锁定块(13)相连接,所述底板(2)的顶部一侧通过支撑杆(3)连接有横梁(5),所述横梁(5)的顶部通过转轴(4)与置物板(1)的底部另一侧相连接,所述底板(2)的顶部另一侧分别固定有轴座(12)和支撑杆(3),所述轴座(12)的顶部连接有气缸(11),所述气缸(11)的输出端通过活塞(10)连接有连接块(9),所述连接块(9)的顶部通过滑块(8)与滑轨(7)相连接,所述滑块(8)的顶部与底部均设置有滑轮(19)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片机的硅片花篮支撑安装架,其特征在于:所述滑轮(19)设置有四个,且四个所述滑轮(19)以滑块(8)的中轴线为中心对称排布于滑块(8)的顶部两侧与底部两侧。
3.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片机的硅片花篮支撑安装架,其特征在于:所述滑块(8)呈“T字型”,且所述滑块(8)与滑轨(7)相适配。
4.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片机的硅片花篮支撑安装架,其特征在于:所述螺杆(15)的外表面设置有两段螺纹,且两段螺纹的螺旋方向相反。
5.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片机的硅片花篮支撑安装架,其特征在于:所述锁定块(13)采用橡胶制作而成,且其设置有两块,同时两块所述锁定块(13)以置物板(1)的宽度中心线为中心对称排布于置物板(1)的顶部。
6.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片机的硅片花篮支撑安装架,其特征在于:所述滑轨(7)的长度占置物板(1)长度的1/3,且所述滑轨(7)紧密焊接于置物板(1)的底部一侧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造