[实用新型]一种旋转式多功能硅片清洗机有效
| 申请号： | 201821321248.8 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN208695787U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 陆敏 | 申请（专利权）人： | 四川晶美硅业科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;F26B5/08;F26B21/00 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 胡晓 |
| 地址： | 629000 四川省遂宁*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 旋转架 清洗 本实用新型 硅片清洗机 进水管 清洗液 旋转式 室内 电机带动 高速流动 加工工序 加工效率 快速清洗 离心脱水 自然风干 出水管 固定架 进气管 排气管 清洗室 机身 转运 保证 | ||
1.一种旋转式多功能硅片清洗机，包括机身（1），所述机身（1）上设置有清洗室（2），机身（1）顶部铰接有密封盖（3），其特征在于：所述机身（1）底部设置有电机（4），所述清洗室（2）内转动设置有旋转架（5），所述旋转架（5）上固定均匀设置有多个硅片固定架（6）；所述旋转架（5）通过转轴（7）与电机（4）相连；所述机身（1）上还设置有进水管（8）、出水管（9）、进气管（10）和排气管（11），所述进水管（8）、出水管（9）、进气管（10）和排气管（11）上均设置有电磁阀（12），所述机身（1）上还设置有与电磁阀（12）相连的控制器（13）；所述排气管（11）上还连接有真空泵（14）。
2.根据权利要求1所述的一种旋转式多功能硅片清洗机，其特征在于：所述进气管上（10）还连接有加热器（15）。
3.根据权利要求1所述的一种旋转式多功能硅片清洗机，其特征在于：所述清洗室（2）内还设置有温度传感器（16）和液位传感器（17），所述温度传感器（16）和液位传感器（17）与控制器（13）相连。
4.根据权利要求1所述的一种旋转式多功能硅片清洗机，其特征在于：所述硅片固定架（6）内侧设置有缓冲垫（18），所述硅片固定架（6）的外表面套置有滤网（19）。
5.根据权利要求1所述的一种旋转式多功能硅片清洗机，其特征在于：所述机身（1）上还设置有超声波发生装置（20），所述超声波发生装置（20）与控制器（13）相连。
6.根据权利要求1所述的一种旋转式多功能硅片清洗机，其特征在于：所述清洗室（2）内还设置有pH值传感器（21）和浑浊度传感器（22），所述pH值传感器（21）和浑浊度传感器（22）均与控制器（13）相连。
7.根据权利要求1所述的一种旋转式多功能硅片清洗机，其特征在于：所述进水管（8）和进气管（10）上均设置有多个喷嘴（23）。
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