[实用新型]一种旋转式多功能硅片清洗机

说明书

本实用新型公开了一种旋转式多功能硅片清洗机，包括机身，所述机身上设置有清洗室，清洗室内设置有与旋转架，所述旋转架上设置有硅片固定架，所述机身上还设置有进水管、出水管、进气管和排气管，本实用新型通过进水管将清洗液注入到清洗室内，再通过电机带动旋转架高速旋转，从而使清洗液在硅片之间高速流动，达到快速清洗硅片的目的，清洗完成后再对硅片进行离心脱水，其在一台设备上实现了两道加工工序，不但提高了加工效率，同时避免了因硅片转运造成的自然风干，保证了产品的质量。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种旋转式多功能硅片清洗机。

背景技术

太阳能是一种可再生资源，因其具有广泛的来源和极低的获取成本而成为应用最广泛的新能源种类之一，现有技术中主要通过太阳能电池板将光能转化为电能加以利用，而太阳能电池板根据使用材质的不同又氛围硅太阳能电池、有机太阳能电池等，其中硅太阳能电池是应用最成熟的一种太阳能电池板；硅太阳能电池板所使用的单晶硅片在加工过程中需要经过清洗、干燥等程序，现有技术中一般将上述两道工序分开，其不但加工效率较低，同时如果硅片在两道工序之间停留的时间较长，极易造成硅片表面自然风干，进而使硅片表面残留较多的杂质，影响产品的质量，甚至导致产品报废。

公开号为CN205680661U的中国实用新型专利于2016年11月9日公开了一种硅片清洗甩干机，包括端盖，所述端盖上开有通孔，通孔上部密封连接有进水管，通孔下端密封连接有连接管，所述连接管下端连接有圆盘，所述进水管上连接有进气管，所述圆盘底面布满喷嘴，所述的端盖内设有电加热装置和保温层，所述的机体底部设有排水口。该硅片清洗甩干机集清洗甩干于一体，提高了生产效率，降低了人工成本，而且干燥效果好，提高了产品质量，具有结构简单，不污染环境，易于推广等优点。

发明内容

针对现有技术中存在的清洗效果差、干燥效果差的缺陷，本实用新型公开了一种旋转式多功能硅片清洗机，采用本实用新型能够提高硅片的清洗效果，同时还能够对清洗产生的污水进行循环再利用，大大降低污水的排放压力，提高企业的经济效益。

本实用新型通过以下技术方案实现上述目的：

一种旋转式多功能硅片清洗机，包括机身，所述机身上设置有清洗室，机身顶部铰接有密封盖，其特征在于：所述机身底部设置有电机，所述清洗室内转动设置有旋转架，所述旋转架上固定均匀设置有多个硅片固定架；所述旋转架通过转轴与电机相连；所述机身上还设置有进水管、出水管、进气管和排气管，所述进水管、出水管、进气管和排气管上均设置有电磁阀，所述机身上还设置有与电磁阀相连的控制器；所述排气管上还连接有真空泵。

所述进气管上还连接有加热器。

所述清洗室内还设置有温度传感器和液位传感器，所述温度传感器和液位传感器与控制器相连。

所述硅片固定架内侧设置有缓冲垫，所述硅片固定架的外表面套置有滤网。

所述机身上还设置有超声波发生装置，所述超声笔发生装置与控制器相连。

所述清洗室内还设置有pH值传感器和浑浊度传感器，所述pH值传感器和浑浊度传感器均与控制器相连。

所述进水管和进气管上均设置有多个喷嘴。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：