[实用新型]一种采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池

权利要求书

1.一种采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，包括正面金属化导线、正面氧化锌系列透明导电膜、HJT电池非晶硅多层膜结构层、背面氧化锌系列透明导电膜和背面金属化导线,其特征在于：所述正面金属化导线、正面氧化锌系列透明导电膜、HJT电池非晶硅多层膜结构层、背面氧化锌系列透明导电膜、背面金属化导线从上到下依次连接；所述正面氧化锌系列透明导电膜和背面氧化锌系列透明导电膜为RPD蒸镀氧化锌系列材料的透明导电膜。

2.根据权利要求1所述的采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，其特征在于：所述氧化锌系列材料为氧化锌与氧化镓、氧化钛、氧化钨、氧化钼、氧化锡、氧化硅、氧化铝、氧化钇两种或三种混合氧化物。

3.根据权利要求1所述的采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，其特征在于：所述正面氧化锌系列透明导电膜的厚度为50-250um，电阻率＜6x10^-4Ωcm，折射率为2.0-2.1，可见光透光性＞82％。

4.根据权利要求1所述的采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，其特征在于：所述背面氧化锌系列透明导电膜的厚度为50-250um，电阻率＜6x10^-4Ωcm，折射率为2.0-2.1，可见光透光性＞82％。

5.根据权利要求1所述的采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，其特征在于：所述正面金属化导线为真空溅镀合金金属层或是网印银线；所述HJT电池多层膜结构层为N型硅片上面使用PECVD制作正面N型非晶硅膜、正面本征非晶硅层膜层、背面本征非晶硅层膜层和背P非晶硅层膜；所述背面金属化导线为真空溅镀合金金属层或是网印银线。

6.根据权利要求5所述的采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，其特征在于：所述真空溅镀合金金属层为真空溅镀铜合金层或真空溅镀铝合金层。

7.根据权利要求5所述的采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，其特征在于：所述真空溅镀合金金属层的厚度为0.5-10um；所述网印银线的厚度为10-30um。

8.根据权利要求1所述的采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，其特征在于：所述HJT电池多层膜结构层为N型硅片上面使用PECVD制作正面N型非晶硅膜、正面本征非晶硅层膜层、背面本征非晶硅层膜层和背面P型非晶硅层膜。

9.根据权利要求8所述的采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，其特征在于：所述HJT电池多层膜结构层本体中央为型单晶硅片，其厚度为50-180um。

10.根据权利要求9所述的采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，其特征在于：所述正面本征非晶硅层膜层的厚度为5-25nm，所述正面N型非晶硅膜的厚度为5-25nm，所述背面本征非晶硅层膜层的厚度为5-25nm；所述背面P型非晶硅层膜的层厚度为5-25nm。