[实用新型]一种采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池

说明书

本实用新型涉及一种采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，包括正面金属化导线、正面氧化锌系列透明导电膜、HJT电池非晶硅多层膜结构层、背面氧化锌系列透明导电膜和背面金属化导线,所述正面金属化导线、正面氧化锌系列透明导电膜、HJT电池非晶硅多层膜结构层、背面氧化锌系列透明导电膜、背面金属化导线从上到下依次连接；所述正面氧化锌系列透明导电膜和背面氧化锌系列透明导电膜为RPD蒸镀氧化锌系列材料的透明导电膜。本实用新型采用氧化锌系列的氧化物其原料成本大幅降低、材料镀率快增加产率、高薄膜透明度及膜层致密度高阻抗低，整体降低HJT电池的生产成本，有利于市场的推广及产品的普及。

技术领域

本实用新型涉及一种薄膜技术的太阳能电池，尤其涉及一种采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池。

背景技术

近几年，由于硅片、电池片和组件的产能不断扩张，光伏发电成本也出现了实质性的下降。因此，降低集成成本（BOS）在整个光伏发电系统成本结构中的比例也变得更加重要，这意味着高效组件在降低系统成本的过程中将扮演着最重要的角色，因为它们在提供相同电量的情况下可以节约更多的BOS成本。在所有的太阳能电池技术中，研究硅基异质结（HJT）太阳能电池具有重要的意义，因为其具备转换效率高(24.7%),结构简单,制程温度低(<250℃),工艺步骤少以及温度系数低等优点。

与传统的P型单晶/多晶太阳能电池相比，N型单晶衬底的HJT电池具有高效率、工艺简单、无照光裂化（LID free）、无电压裂化（PID free）、低温度系数、高发电量、低光衰、低发电成本和双面照光发电等特性，保证了光伏组件更可靠、电站建设成本更低和更长的使用寿命，非常适合分布式光伏应用，为下世代高效率电池主流技术之一。采用双面异质结组件，在白色背景的反照下，可以多输出>20%的电力。根据实地的测试，使用双面的HJT组件比单面的HJT组件平均可多输出28.9%的电力。

在制备HJT太阳能电池的过程中，PECVD在决定产品的性能方面扮演着最重要的角色。入光面所沉积的钝化层为本征层（i）并在上面堆叠掺硼的（p）层，背面同样沉积本征钝化层（i）并堆叠掺磷的（n）层,表面钝化层i/p和i/n的厚度都约为15～25nm。然后在正反两面溅镀上约60-150nm的透明导电膜(TCO),目前大都采用传统的溅镀ITO(铟锡氧化物)作为透明导电膜层(TCO)或者用RPD(Reactive Plasma Deposition)技术蒸镀IWO(铟钨氧化物)做透明导电膜,然后在透明导电膜上可以用丝印低温银浆的方式、或是采用溅镀金属薄膜的方式或者采用电铸铜的方式来制作正反面的导线,这样便完成一个HJT电池片的制作。

目前HJT正反两面的透明导电膜的制作方式尚有成本较高的缺点，一般在正反两面溅镀上约60-150nm的透明导电膜(TCO),目前大都采用传统的溅镀ITO(铟锡氧化物)作为透明导电膜层(TCO)或者用RPD(Reactive Plasma Deposition)技术蒸镀IWO(铟钨氧化物)做透明导电膜,ITO靶材成型不易良率低及IWO靶材用更多的铟原料，因此两者都成本居高不下。

实用新型内容

有鉴于此，提供一种采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，其主要特点是RPD蒸镀氧化锌系列透明导电膜对非晶硅层损伤小、采用氧化锌系列的氧化物其原料成本大幅降低、材料镀率快增加产率、高薄膜透明度及膜层致密度高阻抗低，整体降低HJT电池的生产成本，有利于市场的推广及产品的普及。

一种采用蒸镀氧化锌透明导电膜的硅基异质结太阳能电池，包括正面金属化导线、正面氧化锌系列透明导电膜、HJT电池非晶硅多层膜结构层、背面氧化锌系列透明导电膜和背面金属化导线；所述正面金属化导线、正面氧化锌系列透明导电膜、HJT电池非晶硅多层膜结构层、背面氧化锌系列透明导电膜、背面金属化导线从上到下依次连接；所述正面氧化锌系列透明导电膜和背面氧化锌系列透明导电膜为RPD蒸镀氧化锌系列材料的透明导电膜。