[实用新型]一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机

权利要求书

1.一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，包括机架（1）、下研磨盘（2）和上研磨盘（3），其特征在于，所述机架（1）上方设有下研磨盘（2），下研磨盘（2）上方设有上研磨盘（3），下研磨盘（2）与上研磨盘（3）之间设有中心轮（4）和外齿轮（5），中心轮（4）的轴线方向和外齿轮（5）的轴线方向均与下研磨盘（2）的轴线方向相同，中心轮（4）位于外齿轮（5）的内圈，中心轮（4）与外齿轮（5）之间啮合有多个游星轮（6）；所述机架（1）包括工作台面（101）和位于工作台面（101）下方的底板（102），工作台面（101）和底板（102）均为正方形的板体，工作台面（101）和底板（102）之间通过四根第一立柱（103）固定连接，四根第一立柱（103）分别位于工作台面（101）和底板（102）的四角处；所述工作台面（101）的中心处开设有第一通孔（104），第一通孔（104）处设有第一圆形套筒（105），第一圆形套筒（105）的外圈上通过轴承转动连接有下研磨盘（2），下研磨盘（2）的外延连接有第一外齿圈（201），所述机架（1）内设有两组第一固定支架（11），第一固定支架（11）包括第一内环（111），第一内环（111）的外圈连接有四根第一连接板（112），第一连接板（112）的一端与第一内环（111）固定连接，第一连接板（112）的另一端第一立柱（103）的内侧固定连接，两个第一第一内环（111）之间竖直固定连接有第一电机安装板（113），第一电机安装板（113）上固定安装有第一电机（114），第一电机（114）的输出轴通过联轴器固定连接有第一转轴（115），第一转轴（115）通过轴承与第一圆形套筒（105）转动连接，第一转轴（115）的顶部驱动连接有中心轮（4）；所述第一转轴（115）下端套接有第一皮带轮（116），其中位于上的第一固定支架（11）左侧的两个第一连接板（112）之间设有第一轴承安装板（118），第一轴承安装板（118）与工作台面（101）之间通过轴承转动连接有第二转轴（119），第二转轴（119）的下端固定套接有第二皮带轮（117），第二皮带轮（117）通过皮带与第一皮带轮（116）驱动连接，第二转轴（119）的上端穿过工作台面（101）套接有下研磨盘齿轮（120），下研磨盘齿轮（120）与第一外齿圈（201）啮合，其中第一皮带轮（116）与第二皮带轮（117）直径不一致；所述工作台面（101）的顶部四角处竖直固定连接有第二立柱（301），第二立柱（301）的截面呈等腰三角形，第二立柱（301）的对应等腰三角形截面的斜边的一侧竖直固定连接有第一导轨（302），上研磨盘（3）的外圈滑动连接在第一导轨（302）上；同时第二立柱（301）顶部设有第二固定支架（31），第二固定支架（31）包括第二内环（311），第二内环（311）的外圈连接有四根第二连接板（312），第二连接板（312）的二端与第二内环（311）固定连接，第二连接板（312）的另一端与第二立柱（301）的顶部固定连接，第二内环（311）的顶部竖直固定安装有直线电机（313），直线电机（313）的输出轴驱动连接上研磨盘（3）。

2.根据权利要求1所述的带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，其特征在于，所述下研磨盘（2）的水平高度高于第一圆形套筒（105）的高度。

3.根据权利要求1所述的带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，其特征在于，所述上研磨盘（3）的直径与下研磨盘（2）的直径相等，并且上研磨盘（3）的轴线方向与下研磨盘（2）的轴线方向相同。

4.根据权利要求1所述的带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，其特征在于，所述游星轮（6）的直径为中心轮（4）外径与外齿轮（5）的内径差。

5.根据权利要求1所述的带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，其特征在于，还包括修正轮（7），修正轮（7）呈环形，修正轮（7）上下端面上开设有若干槽，且若干槽呈环形阵列设置在修正轮（7）上，修正轮（7）的圆周面上设置有与中心轮（4）的轮齿和外齿轮（5）上的轮齿配合的轮齿。