[实用新型]一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机

说明书

本实用新型公开了一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，包括机架、下研磨盘和上研磨盘，所述机架上方设有下研磨盘，下研磨盘上方设有上研磨盘，下研磨盘与上研磨盘之间设有中心轮和外齿轮，中心轮的轴线方向和外齿轮的轴线方向均与下研磨盘的轴线方向相同，中心轮位于外齿轮的内圈，中心轮与外齿轮之间啮合有多个游星轮；所述机架包括工作台面和位于工作台面下方的底板，工作台面和底板均为正方形的板体，工作台面和底板之间通过四根第一立柱固定连接，四根第一立柱分别位于工作台面和底板的四角处；本实用新型修出的盘面光洁度高同时配合使用偏心修整轮。

技术领域

本实用新型涉及晶片研磨加工领域，具体是一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机。

背景技术

双面研磨机主要用于两面平行的晶体或其它机械零件进行双面研磨，特别是薄脆性材料的加工，通过上、下研磨盘、中心轮、游星轮在加工时形成四个方向、速度相互协调的研磨运动，达到上下表面同时研磨的高效运作。但晶片研磨过程轨迹对盘面的磨损量是不一样的，研磨盘数过多盘面就会出现差异，造成单片散差过大，同时内外圈的散差也会变大，这就需要对研磨机上下盘面进行平面度修整，一般我们采用修正轮来进行修整下研磨盘的平行误差。那么修整轮的设计就起到了很大的决定作用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，包括机架、下研磨盘和上研磨盘，所述机架上方设有下研磨盘，下研磨盘上方设有上研磨盘，下研磨盘与上研磨盘之间设有中心轮和外齿轮，中心轮的轴线方向和外齿轮的轴线方向均与下研磨盘的轴线方向相同，中心轮位于外齿轮的内圈，中心轮与外齿轮之间啮合有多个游星轮；所述机架包括工作台面和位于工作台面下方的底板，工作台面和底板均为正方形的板体，工作台面和底板之间通过四根第一立柱固定连接，四根第一立柱分别位于工作台面和底板的四角处；所述工作台面的中心处开设有第一通孔，第一通孔处设有第一圆形套筒，第一圆形套筒的外圈上通过轴承转动连接有下研磨盘，下研磨盘的外延连接有第一外齿圈，所述机架内设有两组第一固定支架，第一固定支架包括第一内环，第一内环的外圈连接有四根第一连接板，第一连接板的一端与第一内环固定连接，第一连接板的另一端第一立柱的内侧固定连接，两个第一第一内环之间竖直固定连接有第一电机安装板，第一电机安装板上固定安装有第一电机，第一电机的输出轴通过联轴器固定连接有第一转轴，第一转轴通过轴承与第一圆形套筒转动连接，第一转轴的顶部驱动连接有中心轮；所述第一转轴下端套接有第一皮带轮，其中位于上的第一固定支架左侧的两个第一连接板之间设有第一轴承安装板，第一轴承安装板与工作台面之间通过轴承转动连接有第二转轴，第二转轴的下端固定套接有第二皮带轮，第二皮带轮通过皮带与第一皮带轮驱动连接，第二转轴的上端穿过工作台面套接有下研磨盘齿轮，下研磨盘齿轮与第一外齿圈啮合，其中第一皮带轮与第二皮带轮直径不一致；所述工作台面的顶部四角处竖直固定连接有第二立柱，第二立柱的截面呈等腰三角形，第二立柱的对应等腰三角形截面的斜边的一侧竖直固定连接有第一导轨，上研磨盘的外圈滑动连接在第一导轨上；同时第二立柱顶部设有第二固定支架，第二固定支架包括第二内环，第二内环的外圈连接有四根第二连接板，第二连接板的二端与第二内环固定连接，第二连接板的另一端第二立柱的顶部固定连接，第二内环的顶部竖直固定安装有直线电机，直线电机的输出轴驱动连接上研磨盘。

进一步的，所述下研磨盘的水平高度高于第一圆形套筒的高度。

进一步的，所述上研磨盘的直径与下研磨盘的直径相等，并且上研磨盘的轴线方向与下研磨盘的轴线方向相同。

进一步的，所述游星轮的直径为中心轮外径与外齿轮的内径差。

作为本实用新型再进一步的方案：本实用新型还包括修正轮呈环形，修正轮上下端面上开设有若干槽，且若干槽呈环形阵列设置在修正轮上，修正轮的圆周面上设置有与中心轮的轮齿和外齿轮上的轮齿配合的轮齿。