[实用新型]一种晶圆片盒清洗机构有效
| 申请号： | 201821338009.3 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN208853419U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;周少龙 | 申请（专利权）人： | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/34 | 分类号： | B08B9/34;F26B21/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214121 江苏省无锡市滨湖区中关村软件园3*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆片 旋转台 多层 清洗机构 喷头组 罩盖 底板 喷头 本实用新型 从上到下 依次设置 圆片盒 片盒 种晶 罩盖内侧壁 纯水喷淋 底板中心 清洗结构 洁净度 热风机 包覆 烘干 甩出 水渍 下端 水珠 清洗 转动 残留 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆片盒清洗机构，包括底板（1）、旋转台（2）、罩盖（3）、喷头（4）和晶圆片盒（6），其特征是：底板（1）中心设有旋转台（2），旋转台（2）上固定多层晶圆片盒组，多层晶圆片盒组沿着旋转台（2）从上到下依次设置，每层晶圆片盒组包括多个晶圆片盒（6）；罩盖（3）下端固定在底板（1）上并将旋转台（2）包覆在内，罩盖（3）内侧壁设有多层喷头组，多层喷头组沿着罩盖（3）从上到下依次设置，每层喷头组包括多个喷头（4）。
2.如权利要求1所述的一种晶圆片盒清洗机构，其特征是：所述罩盖（3）顶部内侧设有热风机（5），热风机（5）正对着旋转台（2）。
3.如权利要求1所述的一种晶圆片盒清洗机构，其特征是：所述每层晶圆片盒组的多个晶圆片盒（6）沿着圆周方向均匀分布。
4.如权利要求1所述的一种晶圆片盒清洗机构，其特征是：所述每层喷头组的多个喷头（4）沿着圆周方向均匀分布。
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