[实用新型]研磨载体保管装置有效
| 申请号： | 201821340621.4 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN208866981U | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 徐红林;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 顾兰芳 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 置物篮 研磨载体 驱动机构 保管装置 水槽 置物板 半导体加工技术 本实用新型 驱动连接 上下运动 竖直放置 纵向设置 传统的 后侧板 右侧板 左侧板 形变 内壁 左端 优化 搬运 升降 驱动 污染 | ||
1.研磨载体保管装置，包括设置有水槽的机架，其特征在于，还包括一用于放置研磨载体的置物篮，且所述置物篮设置在所述水槽内；
所述置物篮包括后侧板、左侧板以及右侧板三者相连围成的框架；
所述置物篮还包括纵向设置的置物板，所述置物板的后端、左端以及右端分别与框架的内壁相连构成所述置物篮，所述置物板上开设有透水孔；
所述左侧板与所述右侧板上位于相邻的置物板之间的区域均开设有开口；
还包括驱动置物篮上下运动的驱动机构，所述驱动机构安装在所述机架上，且所述驱动机构驱动连接所述置物篮。
2.根据权利要求1所述的研磨载体保管装置，其特征在于：所述置物篮是PVC制成的置物篮。
3.根据权利要求1所述的研磨载体保管装置，其特征在于：所述水槽上开设有一进水口以及一出水口，所述进水口与所述出水口均安装有阀门。
4.根据权利要求1所述的研磨载体保管装置，其特征在于：所述置物篮的左右两侧设有突起，所述机架包括两个左右设置的立柱，所述立柱位于水槽的上方，两个立柱上分别设有相对设置的导轨，所述导轨与所述突起滑动连接；
所述驱动机构包括一驱动电机，所述驱动电机的动力输出轴通过一传动机构连接两根左右设置的升降带，两根升降带的端部均与突起固定相连。
5.根据权利要求4所述的研磨载体保管装置，其特征在于：所述驱动电机的动力输出轴与一传动轴传动连接，所述传动轴的两端安装有驱动升降带升降的滚轮，所述升降带的一端与所述置物篮相连，所述升降带的另一端连接有一配重；
所述机架上设有前后设置的所述滚轮与定滑轮，所述升降带套设在所述滚轮与定滑轮上。
6.根据权利要求1所述的研磨载体保管装置，其特征在于：位于最下方的置物板的下方设有支撑块，位于最下方的置物板的下端分别与左侧板、右侧板以及后侧板的下端面齐平。
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