[实用新型]研磨载体保管装置

说明书

本实用新型涉及半导体加工技术领域。研磨载体保管装置，包括设置有水槽的机架、一用于放置研磨载体的置物篮，且置物篮设置在水槽内；置物篮包括包括后侧板、左侧板以及右侧板三者相连围成的框架；置物篮还包括纵向设置的置物板，置物板的后端、左端以及右端分别与框架的内壁相连构成置物篮；还包括驱动置物篮上下运动的驱动机构，驱动机构安装在机架上，且驱动机构驱动连接置物篮。本专利通过优化传统的研磨载体保管装置，通过优化置物篮的结构，便于实现研磨载体的水平放置，避免了竖直放置导致的研磨载体容易发生形变的问题。通过驱动机构便于实现置物篮的升降，进而避免人为将置物篮搬运出，接触到纯水而造成纯水的污染，保护纯水。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及硅片研磨载体保管装置。

背景技术

半导体硅片研磨中用到的载体(游星轮)，因为在空气中放置容易生锈，所以通常的做法是放在纯水中保管。

由于现场作业载体通常较多，不同的载体不能叠放一起，再加上场地限制，业界通常做法是将研磨载体竖直放置在分隔栏位的水槽中,方便拿取。但因为研磨载体是较薄(通常厚度〈800um)的弹性刚材质，竖直放置时因为自身重力作用容易发生形变，特别是放置的倾斜角较大情况下更严重，研磨载体变形会影响到研磨硅片的质量，导致TTV不良，崩边，裂片，甚至有在加工时载体和硅片一起绞裂的风险。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供研磨载体保管装置，以解决上述至少一个技术问题。

本实用新型的技术方案是：研磨载体保管装置，包括设置有水槽的机架，其特征在于，还包括一用于放置研磨载体的置物篮，且所述置物篮设置在所述水槽内；

所述置物篮包括包括后侧板、左侧板以及右侧板三者相连围成的框架；

所述置物篮还包括纵向设置的置物板，所述置物板的后端、左端以及右端分别与框架的内壁相连构成所述置物篮，所述置物板上开设有透水孔；

所述左侧板与所述右侧板上位于相邻的置物板之间的区域均开设有开口；

还包括驱动置物篮上下运动的驱动机构，所述驱动机构安装在所述机架上，且所述驱动机构驱动连接所述置物篮。

本专利的创新点在于：(1)通过优化传统的研磨载体保管装置，通过优化置物篮的结构，便于实现研磨载体的水平放置，避免了竖直放置导致的研磨载体容易发生形变的问题。

(2)通过置物板上开设有透水孔以及左侧板右侧板上的开口的设置，便于纯水浸没研磨载体的同时，通过开口，便于用户手握置物篮进行搬运。

(3)通过驱动机构便于实现置物篮的升降，进而避免人为将置物篮搬运出，接触到纯水而造成纯水的污染，保护纯水。

所述置物篮是PVC制成的置物篮。

本专利通过优化置物篮的材料，便于保证对研磨载体的存储效果，避免与研磨载体之间的相互磨损。

所述水槽上开设有一进水口以及一出水口，所述进水口与所述出水口均安装有阀门。

便于实现纯水经进水口导入，经出水口导出。

所述置物篮的左右两侧设有突起，所述机架包括两个左右设置的立柱，所述立柱位于水槽的上方，两个立柱上分别设有相对设置的导轨，所述导轨与所述突起滑动连接；

所述驱动机构包括一驱动电机，所述驱动电机的动力输出轴通过一传动机构连接两根左右设置的升降带，两根升降带的端部均与突起固定相连。

便于通过驱动电机进而带动升降带拉动置物篮，进而实现置物篮的升降。