[实用新型]精细金属掩模有效
| 申请号： | 201821354398.9 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN208898975U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 石清堉 | 申请（专利权）人： | 鋆洤科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦 |
| 地址： | 中国台湾桃园市龟*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精细金属掩模 中央图案 外框 有机发光二极管 电铸工艺 使用寿命 掩模图案 良率 挠曲 | ||
【权利要求书】：
1.一种精细金属掩模，其特征在于，包括一中央图案部以及一强化外框；该中央图案部具有一掩模图案，该强化外框连接于该中央图案部的一外缘，该强化外框的厚度大于该中央图案部的厚度，且该精细金属掩模是以电铸工艺制成。
2.如权利要求1所述的精细金属掩模，其特征在于，该中央图案部更包括一第一电铸层的一第一中央部，该掩模图案形成于该第一中央部上，且该强化外框更包括该第一电铸层的一第一周缘部及一第二电铸层，该第一周缘部邻接于该第一中央部，该第二电铸层迭设于该第一周缘部上，该第二电铸层与该第一中央部之间形成一贯孔，该贯孔连通该掩模图案。
3.如权利要求2所述的精细金属掩模，其特征在于，该强化外框更包括一第三电铸层，该第二电铸层更包括一第二中央部及一第二周缘部，该第二周缘部邻接于该第二中央部，该第三电铸层迭设于该第二周缘部上，该第三电铸层与该第二中央部之间形成一透孔，该透孔连通该贯孔。
4.如权利要求1所述的精细金属掩模，其特征在于，该精细金属掩模的材料是选自于下列构成的群组：铁、钴、镍及上述至少两者的合金。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鋆洤科技股份有限公司，未经鋆洤科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821354398.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：精细金属掩模的制造系统
- 下一篇：一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置
- 同类专利
- 专利分类
