[实用新型]精细金属掩模

说明书

一种精细金属掩模，具有中央图案部以及强化外框。中央图案部具有掩模图案。强化外框连接于中央图案部的外缘。强化外框的厚度大于中央图案部的厚度，且精细金属掩模是以电铸工艺制成。精细金属掩模不易产生挠曲、使用寿命长并有利于提高有机发光二极管的良率。

技术领域

本实用新型涉及一种精细金属掩模。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)因具有自发光、广视角、省电、高效率、反应时间及轻薄等优点，而被广泛的应用于电子书、手机及显示器等商品中。OLED包括玻璃基板、有机发光材料层及电极层，有机发光材料层配置于玻璃基板上，电极层配置于有机发光材料层上。其中，有机发光材料层是以蒸镀工艺形成于玻璃基板上，而蒸镀时使用的精细金属掩模的掩模图案不仅决定了有机发光材料层于玻璃基板上的配置位置，还决定了有机发光材料层的尺寸、精细度等，进而影响到OLED显示器的像素高低。

为提高OLED显示器的像素，习知技术于蒸镀工艺中使用精细金属掩模(FineMetal Mask,FMM)形成有机发光材料层。习知技术的精细金属掩模的制造工艺分为蚀刻工艺及电铸工艺。由于蚀刻法存在可能过蚀、掩模图案钝化等缺点，故相较于蚀刻工艺，电铸工艺制得的精细金属掩模的掩模图案的位置可较为准确且孔径精度更可达到数个微米(μm)。

但是，电铸工艺制得的精细金属掩模的厚度相对较薄，整体结构强度较弱，而容易因外力产生挠曲，导致掩模图案于使用上无法精确对准预定设置有机发光材料层的位置的问题，进而影响精细金属掩模的使用寿命及OLED显示器的良率。

实用新型内容

本实用新型提供了一种精细金属掩模，不易因外力产生挠曲，使用寿命长且可提升OLED显示器的良率。

为达上述的一或多个目的，本实用新型所提供的精细金属掩模，包括中央图案部以及强化外框。中央图案部具有掩模图案。强化外框连接于中央图案部的外缘。强化外框的厚度大于中央图案部的厚度，且精细金属掩模是以电铸工艺制成。

本实用新型的精细金属掩模中，由于强化外框连接于中央图案部的外缘，且强化外框的厚度大于中央图案层的厚度，故中央图案部可于使用或搬运过程中维持平整而不易挠曲，掩模图案于多次使用后仍可以精确对准有机发光材料层的预定设置位置。因此，本实用新型的精细金属掩模的使用寿明长且有利于提升OLED显示器的良率。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图,详细说明如下。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的精细金属掩模的示意图；

图2为本实用新型一实施例的精细金属掩模的制法的流程图；

图3为图2的精细金属掩模的制法的步骤S200的流程图；

图4A为对应图2中步骤S100的示意图；

图4B为对应图3中步骤S210的示意图；

图4C为对应图3中步骤S220的示意图；

图4D为对应图3中步骤S230的示意图；

图4E为对应图3中步骤S240的示意图；

图4F为对应图3中步骤S250的示意图；

图5为本实用新型一实施例的精细金属掩模的制法的步骤S250的流程图；

图6A为对应图5中步骤S251的示意图；

图6B为对应图5中步骤S252的示意图；