[实用新型]一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置

权利要求书

1.一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，包括筒体，其特征在于，所述筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒设于筒体的上部，过滤筒与筒体之间设有间隙，过滤筒的顶部固连多孔板，多孔板固连筒体，过滤筒的下方设有过滤网，过滤网固连筒体；筒体的顶部设有顶盖，顶盖的顶部设有电机，电机的输出轴通过联轴器连接筒体中心的主轴，主轴贯穿多孔板、过滤筒和过滤网，主轴上设有数个搅拌叶片，由上至下均匀分布；顶盖上设有砂浆进口，筒体的底部设有抛光液出口；筒体的上部外部设有夹套，夹套的进水口连接冷水供管，排水口连接排水管。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，其特征在于，所述多孔板、过滤筒和过滤网的中心均设有与主轴间隙配合的通孔。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，其特征在于，所述主轴的底端设有轴座，主轴与轴座之间通过轴承连接，轴座通过连杆连接筒体内壁。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，其特征在于，所述过滤筒的材料为滤网，该滤网的目数小于过滤网的目数。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，其特征在于，所述夹套的冷水管连接冷水机的出水口，排水管连接冷水机的回水口。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，其特征在于，所述筒体的底部设有反冲进口，过滤网上方一侧的筒体上设有第一反冲出口，过滤筒的底部一侧的筒体上设有第二反冲出口，第二反冲出口延伸到过滤筒的内部，反冲进口连接供水管，第一反冲出口和第一反冲出口均连接排水管。