[实用新型]一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，包括筒体，所述筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒设于筒体的上部，过滤筒与筒体之间设有间隙，过滤筒的顶部固连多孔板，多孔板固连筒体，过滤筒的下方设有过滤网，过滤网固连筒体；筒体的顶部设有顶盖，顶盖的顶部设有电机，电机的输出轴通过联轴器连接筒体中心的主轴，主轴贯穿多孔板、过滤筒和过滤网，主轴上设有数个搅拌叶片；筒体的上部外部设有夹套，夹套的进水口连接冷水供管，排水口连接排水管；该单晶硅片切割机砂浆过滤装置通过双重过滤在保证效率的同时保证过滤质量，不会影响切割时的加工质量，值得大力推广。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域，尤其是一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置。

背景技术

硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式，也不同于先进的激光切割和内圆切割，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有：效率高，产能高，精度高等优点。是目前采用最广泛的硅片切割技术；在切割过程中，切割硅片产生的硅粉颗粒会夹杂在切割液内形成砂浆，为求降低生产成本，可以将砂浆过滤后的清液回收使用，现有技术中仅是通过滤网过滤回收，过滤不干净，回收利用时对于产品加工质量影响较大。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种过滤干净的单晶硅片切割机砂浆过滤装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，包括筒体，所述筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒设于筒体的上部，过滤筒与筒体之间设有间隙，过滤筒的顶部固连多孔板，多孔板固连筒体，过滤筒的下方设有过滤网，过滤网固连筒体；筒体的顶部设有顶盖，顶盖的顶部设有电机，电机的输出轴通过联轴器连接筒体中心的主轴，主轴贯穿多孔板、过滤筒和过滤网，主轴上设有数个搅拌叶片，由上至下均匀分布；顶盖上设有砂浆进口，筒体的底部设有抛光液出口；筒体的上部外部设有夹套，夹套的进水口连接冷水供管，排水口连接排水管。

作为本实用新型的进一步方案：所述多孔板、过滤筒和过滤网的中心均设有与主轴间隙配合的通孔。

作为本实用新型的进一步方案：所述主轴的底端设有轴座，主轴与轴座之间通过轴承连接，轴座通过连杆连接筒体内壁。

作为本实用新型的进一步方案：所述过滤筒的材料为滤网，该滤网的目数小于过滤网的目数。

作为本实用新型的进一步方案：所述夹套的冷水管连接冷水机的出水口，排水管连接冷水机的回水口。

作为本实用新型的进一步方案：所述筒体的底部设有反冲进口，过滤网上方一侧的筒体上设有第一反冲出口，过滤筒的底部一侧的筒体上设有第二反冲出口，第二反冲出口延伸到过滤筒的内部，反冲进口连接供水管，第一反冲出口和第一反冲出口均连接排水管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该单晶硅片切割机砂浆过滤装置通过双重过滤在保证效率的同时保证过滤质量，不会影响切割时的加工质量，同时能够起到降温效果，避免切割液温度较高的问题，同时设计反冲洗功能，设备使用寿命长，值得大力推广。

附图说明

图1为实施例一中本实用新型的结构示意图；

图2为实施例一中本实用新型的过滤网的结构示意图；

图3为实施例二中本实用新型的结构示意图。

具体实施方式