[实用新型]一种晶元载物装置

权利要求书

1.一种晶元载物装置，包括用于放置物料的载物盘，其特征在于，还包括第一载物底座，所述第一载物底座上设有张紧装置，所述张紧装置包括装设于所述第一载物底座上的第二载物底座，所述第二载物底座上设有由上至下依次设置的张紧顶板和张紧底板；所述载物盘装设于所述张紧顶板上；

其中，所述张紧顶板上开设有避让孔，所述张紧底板上可转动地设置有张紧环，所述张紧环贯穿所述避让孔；所述载物盘包括载物膜，所述载物膜覆盖于所述避让孔上，且所述张紧环的上端与所述载物膜连接；

所述第二载物底座上设有第一张紧调节驱动件，所述张紧底板上可旋转地设置有第一张紧调节轮，所述第一张紧调节驱动件驱动连接所述第一张紧调节轮，所述第一张紧调节轮传动连接所述张紧环。

2.根据权利要求1所述的晶元载物装置，其特征在于，所述张紧底板上设有第一安装部；

所述第二载物底座上设有第二张紧调节轮和第二张紧调节驱动件，所述第二张紧调节驱动件通过第二张紧调节皮带传动连接所述第二张紧调节轮；所述第二张紧调节轮上设有丝杆，所述丝杆连接所述第一安装部；

所述第一张紧调节驱动件通过第一张紧调节皮带驱动连接所述第一张紧调节轮。

3.根据权利要求2所述的晶元载物装置，其特征在于，所述第二张紧调节轮设有四个；所述第一安装部设有两个，每个所述第一安装部上分别通过两根丝杆连接两个第二张紧调节轮。

4.根据权利要求1所述的晶元载物装置，其特征在于，还包括第三载物底座，所述第二载物底座装设于所述第三载物底座上；所述第一载物底座上设有X轴直线模组，所述X轴直线模组驱动连接所述第三载物底座。

5.根据权利要求4所述的晶元载物装置，其特征在于，所述第三载物底座上设有Y轴直线模组，所述Y轴直线模组驱动连接所述第二载物底座。

6.根据权利要求1所述的晶元载物装置，其特征在于，所述第一载物底座上设有顶出装置，所述顶出装置通过一底部固定架固定于所述第一载物底座上；

所述顶出装置包括固定设置于所述底部固定架上的顶出底座，所述顶出底座上滑动设置有第一顶出滑座，所述第一顶出滑座上设有用于顶起载物膜的主顶针。

7.根据权利要求6所述的晶元载物装置，其特征在于，所述顶出底座上设有第一顶出驱动件，所述第一顶出驱动件上驱动连接有第一顶出偏心轮，所述第一顶出偏心轮上设有第一顶出件，所述第一顶出件连接所述第一顶出滑座，所述第一顶出滑座与所述第一顶出底座滑动连接。

8.根据权利要求7所述的晶元载物装置，其特征在于，所述第一顶出件上挖设有限位槽，所述限位槽的宽度大于所述第一顶出偏心轮的直径，所述第一顶出偏心轮卡设于所述限位槽内。

9.根据权利要求8所述的晶元载物装置，其特征在于，所述主顶针为中空结构，且所述主顶针的顶部设有顶出孔；所述主顶针内滑动设置有副顶针；所述第一顶出滑座上滑动设置有第二顶出滑座，所述第二顶出滑座连接所述副顶针；

所述第一顶出滑座上设有第二顶出驱动件，所述第二顶出驱动件上设有第二顶出偏心轮；所述第二顶出滑座上设有第二顶出件，所述第二顶出件由两块间隔设置的限位块组成，所述限位块的长度大于所述第一顶出偏心轮的直径，所述第二顶出偏心轮设置于所述两块限位块之间；

其中，所述主顶针的上端面开设有顶出孔，所述副顶针的位置、尺寸与所述顶出孔的位置、尺寸相匹配。

10.根据权利要求9所述的晶元载物装置，其特征在于，所述第一顶出偏心轮的直径大于所述第二顶出偏心轮的直径。