[实用新型]一种晶元载物装置

说明书

本实用新型公开了一种晶元载物装置，包括用于放置物料的载物盘，还包括第一载物底座，第一载物底座上设有张紧装置，张紧装置包括装设于第一载物底座上的第二载物底座，第二载物底座由上至下依次设置有张紧顶板和张紧底板，载物盘装设于张紧顶板上；其中，张紧顶板上开设有避让孔，张紧底板上可转动地设置有张紧环，张紧环贯穿避让孔；载物盘包括载物膜，载物膜覆盖于避让孔上，且张紧环的上端与载物膜连接；通过使张紧环做旋转运动，使物料能够成功地从载物膜上剥离下来。本实用新型提供了一种晶元载物装置，通过设置张紧装置以提高物料剥离的速率和成功率，解决目前物料剥离成功率不高的问题。

技术领域

本实用新型涉及机械加工技术领域，尤其涉及一种晶元载物装置。

背景技术

在电子设备的生产过程中，贴合是其中一个必不可少的生产工序，例如手机摄像头的滤光片贴合。在贴合工序中，需要将物料从晶元载物装置上剥离出来，以便于与载板贴合。

目前的贴合工序中，往往采用主顶针机构以实现将物料从膜面上顶出的功能。由于目前的主顶针设备对于升降运动的控制不够精确，单纯依靠主顶针设备使物料的剥离较为困难，容易导致顶出不良，造成物料剥离的成功率不高。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种晶元载物装置，解决现有技术中晶元载物装置上的物料剥离成功率不高的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供以下的技术方案：

一种晶元载物装置，包括用于放置物料的载物盘，还包括第一载物底座，所述第一载物底座上设有张紧装置，所述张紧装置包括装设于所述第一载物底座上的第二载物底座，所述第二载物底座上设有由上至下依次设置的张紧顶板和张紧底板；所述载物盘装设于所述张紧顶板上；

其中，所述张紧顶板上开设有避让孔，所述张紧底板上可转动地设置有张紧环，所述张紧环贯穿所述避让孔；所述载物盘包括载物膜，所述载物膜覆盖于所述避让孔上，且所述张紧环的上端与所述载物膜连接；

所述第二载物底座上设有第一张紧调节驱动件，所述张紧底板上可旋转地设置有第一张紧调节轮，所述第一张紧调节驱动件驱动连接所述第一张紧调节轮，所述第一张紧调节轮传动连接所述张紧环。

可选的，所述张紧底板上设有第一安装部；

所述第二载物底座上设有第二张紧调节轮和第二张紧调节驱动件，所述第二张紧调节驱动件通过第二张紧调节皮带传动连接所述第二张紧调节轮；所述第二张紧调节轮上设有丝杆，所述丝杆连接所述第一安装部；

所述第一张紧调节驱动件通过第一张紧调节皮带驱动连接所述第一张紧调节轮。

可选的，所述第二张紧调节轮设有四个；所述第一安装部设有两个，每个所述第一安装部上分别通过两根丝杆连接两个第二张紧调节轮。

可选的，还包括第三载物底座，所述第二载物底座装设于所述第三载物底座上；所述第一载物底座上设有X轴直线模组，所述X轴直线模组驱动连接所述第三载物底座。

可选的，所述第三载物底座上设有Y轴直线模组，所述Y轴直线模组驱动连接所述第二载物底座。

可选的，所述第一载物底座上设有顶出装置，所述顶出装置通过一底部固定架固定于所述第一载物底座上；

所述顶出装置包括固定设置于所述底部固定架上的顶出底座，所述顶出底座上滑动设置有第一顶出滑座，所述第一顶出滑座上设有用于顶起载物膜的主顶针。

可选的，所述顶出底座上设有第一顶出驱动件，所述第一顶出驱动件上驱动连接有第一顶出偏心轮，所述第一顶出偏心轮上设有第一顶出件，所述第一顶出件连接所述第一顶出滑座，所述第一顶出滑座与所述第一顶出底座滑动连接。