[实用新型]一种新型主轴结构

权利要求书

1.一种新型主轴结构，其特征在于：包括驱动装置(1)、基座(2)、清洗夹具(3)、转动机构(4)和中心连接管(5)；所述驱动装置(1)设置在所述基座(2)下端；所述转动机构(4)设置在所述基座(2)上端；所述驱动装置(1)工作带动所述转动机构(4)转动；用于夹紧半导体产品(6)的所述清洗夹具(3)设置在所述转动机构(4)上端；需要清洗的半导体产品(6)设置在所述清洗夹具(3)上；所述中心连接管(5)安装在所述转动机构(4)中心空腔内，所述中心连接管(5)上端口与所述清洗夹具(3)相对应。

2.根据权利要求1所述的新型主轴结构，其特征在于：所述转动机构(4)包括转盘(41)、中心出水防水帽(42)、第一涨套(43)、轴芯(44)、外防水套(45)、轴套(46)、外隔圈(47)、内隔圈(48)、第一轴承(49)、外圈压盖(410)、螺母隔圈(411)、螺母(412)和第二轴承(413)；所述轴芯(44)上端通过所述第一涨套(43)与所述转盘(41)固定安装在一起；所述中心连接管(5)安装在所述轴芯(44)中心空腔内，所述中心连接管(5)上端与所述中心出水防水帽(42)固定，所述中心出水防水帽(42)上设置有出水孔(418)和出气孔(419)，所述中心连接管(5)内分别还设置有水管(11)和气管(12)，所述水管(11)与所述出水孔(418)连接，所述气管(12)与所述出气孔(419)连接；所述第二轴承(413)和第一轴承(49)分别固定安装在所述轴芯(44)的上下两端；所述第二轴承(413)和第一轴承(49)的外圈固定所述轴套(46)，所述轴套(46)下端还与所述基座(2)固定；所述外隔圈(47)上端与所述第二轴承(413)的外圈接触，下端与所述第一轴承(49)的外圈接触；所述内隔圈(48)上端与所述第二轴承(413)的内圈接触，下端与所述第一轴承(49)的内圈接触；所述外圈压盖(410)固定安装在所述轴套(46)下端；所述螺母隔圈(411)与所述螺母(412)配合安装在所述轴芯(44)的下端且将所述第一轴承(49)固定住，所述螺母(412)与所述轴芯(44)固定，所述螺母隔圈(411)上端与所述第一轴承(49)的内圈接触。

3.根据权利要求2所述的新型主轴结构，其特征在于：所述转动机构(4)还包括外防水套(45)，所述外防水套(45)与所述转盘(41)密封固定。

4.根据权利要求2所述的新型主轴结构，其特征在于：所述转盘(41)上还设置有防水第一凸起(414)，所述第一凸起(414)覆盖在所述中心出水防水帽(42)内。

5.根据权利要求2所述的新型主轴结构，其特征在于：所述轴套(46)上端设置有防水第二凸起(415)，所述，所述转盘(41)下端设置有与所述第二凸起(415)配合的第一凹槽(416)。

6.根据权利要求2所述的新型主轴结构，其特征在于：所述外圈压盖(410)上设置有防水第二凹槽(417)，所述螺母隔圈(411)下端设置有与所述第二凹槽(417)配合的第三凸起(420)。

7.根据权利要求2所述的新型主轴结构，其特征在于：所述驱动装置(1)包括驱动电机(101)、皮带(102)、第一皮带轮(103)、第二涨套(104)和第二皮带轮(105)；所述皮带轮(103)和第二涨套(104)配合固定安装到所述轴芯(44)下端，所述驱动电机(101)固定在所述基座(2)下端一侧，所述驱动电机(101)的转轴上安装所述第二皮带轮(105)，所述第一皮带轮(103)与所述第二皮带轮(105)之间通过所述皮带(102)连接。

8.根据权利要求1所述的新型主轴结构，其特征在于：所述基座(2)下端还设置有用于固定所述中心连接管(5)的连接管固定杆(7)，所述连接管固定杆(7)的两端分别固定在所述基座(2)上，所述中心连接管(5)插入固定到所述连接管固定杆(7)的通孔(8)内。