[实用新型]一种快速的加热装置有效
申请号: | 201821376212.X | 申请日: | 2018-08-24 |
公开(公告)号: | CN208685045U | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 陈道理 | 申请(专利权)人: | 盱眙新远光学科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 211700 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热盘 蒸发坩埚 滑动调节装置 气缸 移动调节装置 本实用新型 调节装置 加热装置 坩埚盖 上端 预热 下端 支架 加热均匀度 气缸安装座 需求调节 加料 固定座 加热头 输出端 输送管 预热的 飞溅 蒸镀 坩埚 加热 | ||
1.一种快速的加热装置,包括:蒸发坩埚,其特征在于:所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚,所述蒸发坩埚下端设有加热盘,所述加热盘上设有若干加热头,所述加热盘下端安装在加热盘固定座上,所述加热盘一侧设有加热盘移动调节装置,所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置、调节气缸,所述加热盘一侧安装在调节气缸的输出端上,滑动调节装置安装在加热盘下侧,所述滑动调节装置安装在调节装置支架上,所述调节气缸通过调节气缸安装座安装在调节装置支架上,所述蒸发坩埚上端设有坩埚盖,所述坩埚盖上端设有蒸镀输送管,所述预热坩埚上端设有加料斗,加料斗的加料口上设有密封盖板。
2.根据权利要求1所述的一种快速的加热装置,其特征在于:所述预热坩埚与蒸发坩埚之间设有过度段,预热坩埚倾斜设置,预热坩埚的倾斜角度为10-40°,所述加热盘的三分之二在蒸发坩埚下侧,加热盘的三分之一在预热坩埚下侧。
3.根据权利要求1所述的一种快速的加热装置,其特征在于:所述滑动调节装置包括调节滑槽,所述调节滑槽安装在电梯本体上,调节滑槽内设有移动滑块,加热盘安装在移动滑块上,调节滑槽一侧设有锁紧装置通槽,锁紧装置穿过锁紧装置通槽安装在移动滑块上。
4.根据权利要求3所述的一种快速的加热装置,其特征在于:所述调节滑槽下端设有支撑滚轮固定槽,支撑滚轮固定槽内设有支撑滚轮,支撑滚轮通过支撑滚轮安装轴安装在支撑滚轮固定槽内,移动滑块放置在支撑滚轮上。
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