[实用新型]一种快速的加热装置

说明书

本实用新型提供一种快速的加热装置，包括：蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述加热盘下端安装在加热盘固定座上，加热盘一侧设有加热盘移动调节装置，所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置、调节气缸，所述加热盘一侧安装在调节气缸的输出端上，滑动调节装置安装在加热盘下侧，所述滑动调节装置安装在调节装置支架上，调节气缸通过调节气缸安装座安装在调节装置支架上，所述蒸发坩埚上端设有坩埚盖，所述坩埚盖上端设有蒸镀输送管。本实用新型可以在加料的同时进行预热，提高加热均匀度，防止飞溅，而且，可以根据需求调节加热、预热的热量比例，提高设备适用范围。

技术领域

本实用新型涉及蒸发镀膜装置技术领域，具体为一种快速的加热装置。

背景技术

镀膜技术广泛应用于各种工件上，镀膜不仅能保护工件，防止工件磨损、氧化，而且使工件表面光滑，装饰性强；在薄膜制备过程中，需要很强的功率才能使金属原料从固体状态蒸发汽化，在真空镀膜工艺中，加热装置是一种重要的蒸发设备。加热装置使其中的物质蒸发，蒸发物质的原子或分子就会以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。目前镀膜设备的舟内材料在加热过程中加热不均匀，有时会溅出到加热装置外，而且气化效率较低。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种快速的加热装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种快速的加热装置，包括：蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述加热盘下端安装在加热盘固定座上，所述加热盘一侧设有加热盘移动调节装置，所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置、调节气缸，所述加热盘一侧安装在调节气缸的输出端上，滑动调节装置安装在加热盘下侧，所述滑动调节装置安装在调节装置支架上，所述调节气缸通过调节气缸安装座安装在调节装置支架上，所述蒸发坩埚上端设有坩埚盖，所述坩埚盖上端设有蒸镀输送管，所述预热坩埚上端设有加料斗，加料斗的加料口上设有密封盖板。

所述预热坩埚与蒸发坩埚之间设有过度段，预热坩埚倾斜设置，预热坩埚的倾斜角度为10-40°，所述加热盘的三分之二在蒸发坩埚下侧，加热盘的三分之一在预热坩埚下侧。

所述滑动调节装置包括调节滑槽，所述调节滑槽安装在电梯本体上，调节滑槽内设有移动滑块，加热盘安装在移动滑块上，调节滑槽一侧设有锁紧装置通槽，锁紧装置穿过锁紧装置通槽安装在移动滑块上。

所述调节滑槽下端设有支撑滚轮固定槽，支撑滚轮固定槽内设有支撑滚轮，支撑滚轮通过支撑滚轮安装轴安装在支撑滚轮固定槽内，移动滑块放置在支撑滚轮上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型可以在加料的同时进行预热，提高加热均匀度，防止飞溅，而且，可以根据需求调节加热、预热的热量比例，提高设备适用范围。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的滑动调节装置结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

实施例1