[实用新型]一种全自动镀膜设备

权利要求书

1.一种全自动镀膜设备，包括：蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置一侧设有蒸镀源发生器，所述蒸镀装置内设有辅助加热装置，所述辅助加热装置包括辅助加热板，所述辅助加热板通过加热板调节座安装在蒸镀装置内，所述蒸镀源发生器包括蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述加热盘下端安装在加热盘固定座上，所述蒸镀装置包括蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，所述镀膜喷管装置通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上，所述蒸镀釜封头上设有抽真空管，所述抽真空管上设有抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵固定座上，所述蒸镀釜内设有镀件放置板，所述镀件放置板上设有镀件固定支架，所述镀件固定支架上设有柔性垫块，镀件放置在柔性垫块上，所述镀件放置板下端安装在升降气缸上，所述升降气缸的输出端通过放置板安装座安装在镀件放置板上，所述升降气缸的缸体通过升降气缸固定座安装在蒸镀釜底部。

2.根据权利要求1所述的一种全自动镀膜设备，其特征在于：所述加热盘一侧设有加热盘移动调节装置，所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置、调节气缸，所述加热盘一侧安装在调节气缸的输出端上，滑动调节装置安装在加热盘下侧，所述滑动调节装置安装在调节装置支架上，所述调节气缸通过调节气缸安装座安装在调节装置支架上，所述蒸发坩埚上端设有坩埚盖，所述坩埚盖上端设有蒸镀输送管，所述预热坩埚上端设有加料斗，加料斗的加料口上设有密封盖板。

3.根据权利要求1所述的一种全自动镀膜设备，其特征在于：所述预热坩埚与蒸发坩埚之间设有过度段，预热坩埚倾斜设置，预热坩埚的倾斜角度为10-40°，所述加热盘的三分之二在蒸发坩埚下侧，加热盘的三分之一在预热坩埚下侧。

4.根据权利要求1所述的一种全自动镀膜设备，其特征在于：所述蒸镀釜封头一侧通过固定轴安装在蒸镀釜上、另一侧通过固定卡扣安装在蒸镀釜上，所述固定卡扣上设有密封锁紧手柄。

5.根据权利要求1所述的一种全自动镀膜设备，其特征在于：所述镀膜喷管装置包括蒸镀源分配管，蒸镀源分配管通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述蒸镀源分配管上设有若干喷头接头，所述喷头接头上设有喷头，所述喷头通过连接软管安装在喷头接头上。

6.根据权利要求5所述的一种全自动镀膜设备，其特征在于：所述喷头尾端通过旋转销安装在固定板上，喷头在固定板上等距均匀设置，固定板安装在蒸镀釜封头上，所述喷头头端通过旋转销安装在角度调节板上，所述角度调节板一端设有伸缩气缸。

7.根据权利要求1所述的一种全自动镀膜设备，其特征在于：所述加热板调节座包括固定横杆、固定立杆，固定横杆、固定立杆外端设有加热板固定板，辅助加热板安装在加热板固定板上，所述固定横杆、固定立杆安装在旋转支撑座上，旋转支撑座两端设有倾斜调整杆，所述旋转支撑座活动安装在支撑安装座内，支撑安装座下端固定在加热装置安装座上，所述倾斜调整杆上设有角度调节气缸。

8.根据权利要求7所述的一种全自动镀膜设备，其特征在于：所述角度调节气缸的输出端通过固定销安装在倾斜调整杆上，角度调节气缸的缸体通过固定销安装在缸体固定座上，缸体固定座安装在加热装置安装座上，加热装置安装座安装在蒸镀装置内，所述固定横杆、固定立杆垂直设置，支撑安装座为C型结构，旋转支撑座卡设在支撑安装座内。