[实用新型]一种全自动镀膜设备

说明书

本实用新型提供一种全自动镀膜设备，包括：蒸镀装置，所述蒸镀装置一侧设有蒸镀源发生器，所述蒸镀装置内设有辅助加热装置，所述辅助加热装置包括辅助加热板，所述辅助加热板通过加热板调节座安装在蒸镀装置内，所述蒸镀源发生器包括蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述蒸镀装置包括蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，本实用新型可以在加料的同时进行预热，提高加热均匀度，防止飞溅，而且，将传统镀膜装置的单个镀膜源，分散成若干喷头，可以大大提高蒸镀的均匀性，提高镀膜层的平整度，提高产品品质。

技术领域

本实用新型涉及蒸发镀膜装置技术领域，具体为一种全自动镀膜设备。

背景技术

镀膜技术广泛应用于各种工件上，镀膜不仅能保护工件，防止工件磨损、氧化，而且使工件表面光滑，装饰性强；在薄膜制备过程中，需要很强的功率才能使金属原料从固体状态蒸发汽化，在真空镀膜工艺中，加热装置是一种重要的蒸发设备。加热装置使其中的物质蒸发，蒸发物质的原子或分子就会以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。但是，在镀膜过程中，容易出现镀膜层不均匀，镀膜质量不高等缺点。而且，目前镀膜设备的舟内材料在加热过程中加热不均匀，有时会溅出到加热装置外，而且气化效率较低。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种全自动镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种全自动镀膜设备，包括：蒸镀装置，所述蒸镀装置一侧设有蒸镀源发生器，所述蒸镀装置内设有辅助加热装置，所述辅助加热装置包括辅助加热板，所述辅助加热板通过加热板调节座安装在蒸镀装置内，所述蒸镀源发生器包括蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述加热盘下端安装在加热盘固定座上，所述蒸镀装置包括蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，所述镀膜喷管装置通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上，所述蒸镀釜封头上设有抽真空管，所述抽真空管上设有抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵固定座上，所述蒸镀釜内设有镀件放置板，所述镀件放置板上设有镀件固定支架，所述镀件固定支架上设有柔性垫块，镀件放置在柔性垫块上，所述镀件放置板下端安装在升降气缸上，所述升降气缸的输出端通过放置板安装座安装在镀件放置板上，所述升降气缸的缸体通过升降气缸固定座安装在蒸镀釜底部。

所述加热盘一侧设有加热盘移动调节装置，所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置、调节气缸，所述加热盘一侧安装在调节气缸的输出端上，滑动调节装置安装在加热盘下侧，所述滑动调节装置安装在调节装置支架上，所述调节气缸通过调节气缸安装座安装在调节装置支架上，所述蒸发坩埚上端设有坩埚盖，所述坩埚盖上端设有蒸镀输送管，所述预热坩埚上端设有加料斗，加料斗的加料口上设有密封盖板。

所述预热坩埚与蒸发坩埚之间设有过度段，预热坩埚倾斜设置，预热坩埚的倾斜角度为10-40°，所述加热盘的三分之二在蒸发坩埚下侧，加热盘的三分之一在预热坩埚下侧。

所述蒸镀釜封头一侧通过固定轴安装在蒸镀釜上、另一侧通过固定卡扣安装在蒸镀釜上，所述固定卡扣上设有密封锁紧手柄。

所述镀膜喷管装置包括蒸镀源分配管，蒸镀源分配管通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述蒸镀源分配管上设有若干喷头接头，所述喷头接头上设有喷头，所述喷头通过连接软管安装在喷头接头上。

所述喷头尾端通过旋转销安装在固定板上，喷头在固定板上等距均匀设置，固定板安装在蒸镀釜封头上，所述喷头头端通过旋转销安装在角度调节板上，所述角度调节板一端设有伸缩气缸。