[实用新型]机械手臂对准装置有效
| 申请号： | 201821378979.6 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN208663827U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 岳志刚;辛君;林宗贤;吴龙江 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25J13/08 | 分类号： | B25J13/08 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械手臂 光信号发射器 光信号接收器 对准装置 本实用新型 控制器 晶圆 装载 半导体制造技术 半导体制程 位置偏移 发射光 装载台 同向 发射 检测 | ||
1.一种机械手臂对准装置，其特征在于，包括控制器、多个光信号发射器以及与多个光信号发射器一一对应的多个光信号接收器；
多个所述光信号发射器均安装于机械手臂上，用于同向发射光信号；所述光信号接收器安装于装载台上，用于接收所述光信号发射器发射的光信号；所述控制器连接多个所述光信号接收器，用于检测多个所述光信号接收器是否同时接收到光信号，若是，则控制所述机械手臂将晶圆转移至所述装载台。
2.根据权利要求1所述的机械手臂对准装置，其特征在于，多个光信号发射器包括三个光信号发射器，且三个所述光信号发射器呈三角形结构排列。
3.根据权利要求1所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述控制器用于检测多个所述光信号接收器是否同时接收到光信号，若否，则控制所述机械手臂沿预设路径运动。
4.根据权利要求3所述的机械手臂对准装置，其特征在于，还包括存储器以及围绕每一所述光信号接收器设置的一组对准标记；所述存储器用于存储与每一所述光信号接收器对应的一组对准标记的坐标，且每组对准标记中的多个对准标记以其围绕的所述光信号接收器为中心呈对称分布。
5.根据权利要求4所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述对准标记的形状为圆形或者任意多边形。
6.根据权利要求5所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述对准标记为边长为2mm的正方形。
7.根据权利要求4所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述控制器连接所述存储器，用于在一所述光信号接收器未接收到光信号时，控制所述机械手臂沿预设路径运动，以带动与未接收到光信号的光信号接收器对应的光信号发射器运动至与一对准标记对应的坐标处，并再次检测所述光信号接收器是否接收到光信号。
8.根据权利要求1所述的机械手臂对准装置，其特征在于，还包括报警器；
所述控制器连接所述报警器，用于在多个所述光信号接收器未同时接收到光信号时，控制所述报警器发出警报。
9.根据权利要求1所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述光信号为激光信号。
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