[实用新型]一种晶圆检测设备

权利要求书

1.一种晶圆检测设备，其特征在于，包括工作平台(1)，所述工作平台(1)上至少设置有宏观检测工位(2)和微观检测工位(3)，并且所述工作平台(1)上还设置有搬运装置(5)，所述搬运装置(5)能将待检测晶圆搬运至所述宏观检测工位(2)和所述微观检测工位(3)。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述晶圆检测设备还包括校准器(4)，所述校准器(4)用于校准所述待检测晶圆的基准位置。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述校准器(4)包括控制器，以及均与所述控制器连接的移动机构和光电传感器，所述待检测晶圆位于所述移动机构上，所述光电传感器用于感应所述待检测晶圆的基准位置，并将感应信号发送至所述控制器，所述控制器能驱动所述移动机构运动。

4.根据权利要求2所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述工作平台(1)的边缘处设置有卡匣工位，所述卡匣工位用于放置卡匣，所述卡匣盛装有晶圆；

所述搬运装置(5)能将所述卡匣工位上的待检测晶圆搬运至所述校准器(4),并能将检测完成的晶圆搬运回所述卡匣工位上。

5.根据权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述工作平台(1)上设置有暗室，所述宏观检测工位(2)设置于所述暗室内，所述暗室的侧壁设置有进出片开口和观察窗。

6.根据权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述宏观检测工位(2)包括第一载台(21)和灯箱(71)，所述灯箱(71)设置于所述第一载台(21)上方，所述灯箱(71)用于照射所述第一载台(21)上的所述待检测晶圆。

7.根据权利要求6所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述第一载台(21)通过第一转轴与翻转架(22)连接，所述翻转架(22)通过第二转轴与固定架(23)连接，且所述第一转轴和所述第二转轴相互垂直，其中，所述第一转轴连接有第一驱动装置(24)，所述第二转轴连接有第二驱动装置(25)。

8.根据权利要求6所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述宏观检测工位(2)还设置有调光玻璃(28)，所述调光玻璃(28)位于所述第一载台(21)的上方。

9.根据权利要求6所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述灯箱(71)内包括至少两种光源。

10.根据权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述微观检测工位(3)包括第二载台(31)和显微镜(32)，所述第二载台(31)位于所述显微镜(32)的下方，且所述第二载台(31)连接有旋转机构和能水平移动的平移机构，其中所述平移机构包括移动方向相互垂直的X轴移动机构(33)和Y轴移动机构(34)。